中古 SPEEDFAM 15B-5P #9208821 を販売中

SPEEDFAM 15B-5Pは、極めて精密な微細仕上げが可能なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、化学機械研磨（CMP）ツールであり、半導体、MEMS、およびその他の関連アプリケーションの研削、ラッピング、研磨ウエハに最適です。このユニットは、研削プロセスを調整し、特定のアプリケーションに最適化するためにプラテンとロボットと一緒に回転制御ヘッドを使用します。15B-5Pモデルは、±2µmの精度を見つける線形軸を持っていますが、その再現性は±1µmです。また、X（水平）軸とY（垂直）軸の両方で+-0.5µmの再現性があります。SPEEDFAM 15B-5Pは、直径15インチ、深さ5インチのワークエリアを備えています。また、回転制御ヘッドを搭載し、広範囲の動作と最大500RPMを実現し、滑らかで簡単なウェーハ研削、ラッピング、研磨が可能です。15B-5Pには、お客様の用途に合わせて特別に設計された様々な研削石、研磨材、研磨媒体もあります。SPEEDFAM 15B-5Pは他にも多くの機能を提供しています。これらには、自動ローディング、アンロード、およびローディング転送、自動化された研削および研磨制御機械、粉塵低減ツール、および統合された熱交換器資産が含まれます。また、自己診断オペレータインターフェイス、安全インターロックモデル、およびその他の多くの安全機能を備えており、すべてのタスクが最小限のリスクで安全かつ正確に実行されるようにしています。15B-5Pはウェーハ研削、ラッピング、研磨のマーケットリーダーであり、高性能で効率的で信頼性の高い機器を必要とするメーカーやプロユーザーに最適です。このマシンは、さまざまな仕上げと複雑な地形だけでなく、繰り返し可能で満足のいく結果を提供することができます。