中古 SPEEDFAM 15B-5L-2M #9031446 を販売中

SPEEDFAM 15B-5L-2Mは、今日の半導体およびその他の先端材料加工アプリケーションの厳しい要件を満たすように設計された精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。シリコン、ヒ素ガリウム、窒化ガリウム、GaN、ダイヤモンド、サファイアおよびその他の硬くて脆い材料、および光学表面のラッピングおよび研磨における表面および形状研削、ラッピングおよび研磨作業に最適です。このシステムは、最終的な研削、研磨、ラッピング処理の前にマルチレベルのウェーハを厚くするのに適しています。15B-5L-2Mには15kWのメインモーター、5kWのラッピングモーター、ワーキングピースを保持するための2kWの電磁チャックが装備されています。特に、8インチウエハまでの高効率な輪郭研削、平坦化、研磨を行うように設計されています。このモデルには、精密XYZトラバース、調整可能な角度ダイヤモンド研削ホイール、ダイレクトドライブコントロールユニットが含まれています。その調整可能な角度研削ホイールのおかげで、機械は複雑な形状を生成し、1つのパスでワークの所望のプロファイル角度に達することができます。高精度の研削工具は、高速除去率を提供し、0。2 μ m以上の平坦度に研削します。さらに、SPEEDFAM 15B-5L-2Mウェーハ研削、ラッピング、研磨資産には、自動材料交換ユニットがあり、フィーダから研削ヘッドへの高速かつ正確な自動部品輸送を保証します。クローズドループ冷却モデルは、効率的な冷却を可能にし、ワーク温度を低く保ち、粉砕プロセスを安定させます。また、視覚検査とプロセス監視のための高度なビジョンシステムも組み込まれています。ビジョンシステムは、ワークのサイズ、位置、面積、形状の欠陥を検出することができます。この機能により、非常に正確で一貫した生産が保証され、加工された部品の最高品質が保証されます。結論として、15B-5L-2Mは、最も要求の厳しい部品を処理するための優れた精度、精度、再現性を提供する高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットです。この機械はウェーハの製作、LEDの製造業、フラットパネルディスプレイの生産、また他の多くの適用のような企業の範囲で使用することができます。