中古 SPEEDFAM 13B-9P #9187705 を販売中
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ID: 9187705
ヴィンテージ: 1999
Double sided polishing machine
Accessories included
1999 vintage.
SPEEDFAM 13B-9Pは、表面完成した半導体やその他のハイテクウェーハの製造用に設計された、高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。SPEEDFAM 13 B-9 Pは、直径13インチのシングルプレートグラインダーと9インチの直径ディスクを備えており、最も要求の厳しい半導体およびハイテクウェーハを製造するための高度な精度で、強力で信頼性の高い研削、ラッピング、研磨ソリューションを提供します。13B-9Pは、サーボモータ主軸駆動システムと高周波振動モータを搭載し、トルク力や振動によるたわみを低減しながら、高精度な研削面を実現しています。高度なステッピングモータードライブユニットは、研削、ラッピング、研磨操作に優れたトルクと精度を追加します。スピンドルドライブは、最高の結果を提供するために迅速かつ正確な回転速度を可能にします。13 B-9 Pの9インチの直径ディスクはより大きい接触表面を提供し、より有効な粉砕、ラッピングおよび磨くことにつながります。直感的なインターフェースにより操作が容易になるため、熟練していないユーザーでもマシンの機能をすばやく学び、最大限に活用することができます。さらに、オペレータとワークピースを潜在的な危険から保護するための安全機能とセンサーを備えています。ロードモニタリングのために、SPEEDFAM 13B-9Pはロードセルと高度なセンサーに依存しています。これは、マシンの統合されたPCベースのコントローラと相まって、高精度で再現性のある研削、ラッピング、研磨操作を保証します。統合されたプログラマブルロジックコントローラ(PLC)により、自動化された操作が可能になり、さまざまなセットアップパラメータを簡単に設定してツールの内部データベースに保存できます。SPEEDFAM 13 B-9 Pには、プログラム可能なX-Yロボットワークチェンジャーが装備されており、ディスクの自動交換が可能です。この資産は、偶発的な開閉を防ぎ、ほこりのない環境を維持するために、安全ドアとロックで設計されています。内蔵のオペレータ安全モデルは、緊急時にすぐに動作を停止するように設計されています。今日の洗練されたウェーハ研削と研磨研磨研磨剤と消耗品の機能と相まって、13B-9Pは最高品質の基準にウェーハの優れた精度と迅速な研削、ラッピング、研磨を保証します。最先端の技術、直感的な操作、オペレータの安全システムを組み合わせた13 B-9 Pは、最高の精度とスピードで高精度、半導体、ハイテクなウェーハを製造するのに最適です。
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