中古 SPEEDFAM 12B #293639920 を販売中

SPEEDFAM 12Bウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、今日の集積回路およびMEMS製造プロセスで使用される、高感度で機械的に困難な材料の優れた表面仕上げの必要性に対処するために開発されました。このシステムは、ウェーハ、ウェーハボタン、サイコロ、およびその他の薄膜基板の信頼性と再現性の高い研磨結果を提供するように設計されています。このユニットは、高度な静的および動的研磨技術を使用して、完成した表面を生成します。機械の基礎は、優れた振動制御を提供し、優れた結果を得るのに役立ちますヘビーデューティ、デュアル層絶縁ベースです。また、このツールはフル機能のコントロールパネルで設計されており、便利で簡単な操作を可能にします。12Bには、12インチの研削・研磨プラテンが搭載されており、幅広い研削・研磨手順をカバーすることができます。さらに、アセットは最大3つの異なる研磨ベルトを同時に保持することができるため、異なるウェーハと基板を同時に処理することができます。フレームには、ストレートエッジ付きの固定長プラテンも含まれており、ウェハごとに一貫した研削カットが可能です。また、ウェーハや薄膜基板に精密で均一な仕上がりを実現するラッピング装置を別途搭載しています。電動機で駆動するラジアルアームと、固定速度で回転するプラテンで構成されています。アームは、ウェーハまたは薄膜基板を所定の位置に保持し、あなたが所望の仕上げを達成するためにラッピングレートを調整することができます調整可能なラッピングホイールのセットを持っています。装置はまたあなたの粉砕および磨くワークフローを高めるように特に設計されている付属品と来ます。これらのアクセサリーには、振動を低減し、安定性を向上させるために、異なる研磨パッドとプラテンプレートアダプターを取り付けることができる研磨パッドアダプターが含まれています。また、ウェーハ表面を汚染することなくウェーハを転送するためのウェーハトランスファーユニットも装備しています。SPEEDFAM 12Bウェーハ研削、ラッピング&ポリッシングマシンは、今日の高度な製造プロセスで使用される高感度で機械では困難な材料の優れた表面仕上げを達成し、大規模なウェーハおよび薄膜基板の精密で均一な仕上げを達成するための理想的なソリューションです。このツールの堅牢な設計と高度な技術は、信頼性と再現性のある研磨結果を提供します。