中古 SPEEDFAM 12B-8P III #293626845 を販売中
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ID: 293626845
ヴィンテージ: 1996
Double-sided polisher machine
2-Motor
Direct read
Plate
Sun gear
Internal gear
SUS
1996 vintage.
SPEEDFAM 12B-8P IIIは、様々な硬くて脆い材料で優れた表面仕上げ結果を提供するように設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、半導体製造設備への応用に向けて、高精度で迅速かつ正確に平面および非平面表面を研磨することができます。このユニットは、12個の研磨および研磨ヘッド、8個の研磨ヘッド、ウェーハ用のフィードトレイ、研磨パッド、および研磨作業用の構造化されたプラテンで構成されています。それは調節可能な水圧および流動度の磨くことのためのダイヤモンド研摩のスラリーか液体の使用を可能にします。それはまた粉砕操作のための適用範囲が広いペーパーテープの使用を可能にします。このマシンは堅牢なフレームを中心に設計されており、自動スピンドル制御ツール、精密リニアモータとエンコーダ、および動作中の振動を最小限に抑える剛性のある構造を備えています。モーターとエンコーダは高精度の送り速度制御を提供し、一貫性を損なうことなく表面仕上げを微調整できます。また、高解像度のタッチスクリーン制御アセットを備えており、モデルのセットアップと操作を簡素化および合理化します。SPEEDFAM 12B-8P-IIIは、高度な安全インターロック装置を備えており、必要に応じて直ちに運転を中断することにより、オペレータとウェーハの安全を保証します。また、水と研磨粒子のための強力な再循環システムも含まれており、環境への影響を最小限に抑え、メンテナンスコストを削減します。全体的に、12B-8P IIIは、あらゆる種類の硬くて脆い材料に優れた表面仕上げ結果を提供する高度で信頼性の高いユニットです。また、高度なオペレータの安全性、セットアップと操作の容易さ、環境への影響を最小限に抑えます。
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