中古 SPEEDFAM 12B-8L #9114397 を販売中

SPEEDFAM 12B-8Lは、主に半導体デバイスの製造のために設計された堅牢でユーザーフレンドリーなウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、さまざまなウェーハ材料の処理において、さまざまなレベルの自動化と柔軟性を可能にする、大規模なモジュール構造に基づいています。12B-8Lは、最大ウェーハ径8インチのウェーハボートを最大24基まで搭載する自動研削盤を備えており、大規模な生産において並列処理とコスト効率を実現します。さらに、研削テーブルにはリニアモータ駆動を搭載しており、研削テーブルの正確かつ安定した速度制御を実現し、ウェハ間の一貫性に優れています。次の工程では、ウェーハの平らな表面に研磨剤を分配し、ラッピングヘッドと同時に一貫してラップします。SPEEDFAM 12B-8Lには2軸調整可能なラッピングヘッドが装備されており、ラッピングプロセスを正確かつ効率的に調整することができます。調節可能なヘッドにより、各ウェーハの高品質な平坦性と幅広い素材のニーズに柔軟に対応できます。最後の段階は磨くことです、ラッピング工程からの余分な材料が除去され、反射仕上げが与えられます。このユニットは、標準的な研磨消耗品やアクセサリー（スラリー、研磨パッド、ディスクなど）を幅広く使用しており、ウェーハに滑らかで光沢のある仕上げを与えています。研磨ヘッドにはアクティブロードコントロールユニットが装備されており、プロセス全体で一貫した材料除去速度を保証します。12B-8Lは、半導体デバイスの生産のために設計された効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。調整可能で自動化された制御により、大規模な生産で正確で一貫した結果を得ることができます。さらに、リニアモータードライブ、2軸調整可能ラッピングヘッド、アクティブロードコントロールユニットなどが搭載されており、ウェーハの最適な結果を保証します。