中古 SPEEDFAM 12B-6P #9073042 を販売中

SPEEDFAM 12B-6Pは、ウエハ研削、ラッピング、研磨装置です。直径8インチまでの半導体ウェーハを迅速に研削、ラップ、研磨することができます。このシステムは、デバイス研削、パワーデバイス研削、ドレインサイドウォール研削、ゲート酸化物研削、ゲート電極平坦化、ラフ研磨、バリア酸化物、研磨仕上げ、MEMS研磨およびその他の精密アプリケーションを含む11のアプリケーションに適しています。このユニットには、6インチの精密チャックを備えた12インチのダブルアームスピンドルモーターと、高精度の研削と研磨のための6HPのタービンモーターが内蔵されています。また、精密ベアリングマウント研削/研磨ディスク、高品質の標準ダイヤモンド化合物、3軸エアフローティングテーブルのセット、さまざまなサンプルホルダー、アンビル、空気チャック空気圧制御などのさまざまなアクセサリーも含まれています。機械は軽い接触および優秀な表面の終わりを示す優秀な粉砕および磨く性能を提供します。これは、ダブルアームスピンドルモータと剛性の高い高精度チャックを使用することで実現され、振動を無視した非常にスムーズな動作を実現します。精度を高めるために、研削/研磨ディスクとチャックは、製造プロセス中に精密加工され、厳密に制御されます。統合されたタービンモーターは材料の精密な取り外しのための例外的な力を提供します。エアーフローティングテーブルは、サンプルと研削/研磨ディスクの間の完全な接触を提供し、結果の再現性を保証し、クリーニングエリアを封印して空気中の汚染を排除します。さらに、SPEEDFAMのよく設計されたサンプルホルダーは、ワークピースの正確な位置決めを可能にし、これまでの研磨の可能性を最小限に抑えます。結論として、12B-6Pはユーザーに最小かつ最も費用対効果の高い方法でタスクの範囲を完了するための最大限の柔軟性を提供するように設計された高精度のウェーハ研削、ラッピングおよび研磨モデルです。ダブルアームスピンドルモーター、高品質の標準ダイヤモンド化合物、エアフローティングテーブル、さまざまなサンプルホルダーなど、さまざまな機能を備えているため、優れた表面仕上げと結果の再現性を実現することができ、専門家や趣味家にも理想的なツールです。