中古 SPEEDFAM 12B-6L #9007407 を販売中

SPEEDFAM 12B-6Lは、半導体製造に使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。6つの研削ホイールにより、半導体ウェーハを正確かつ迅速に研削し、望ましい表面仕上げと寸法精度を実現します。このユニットは、優れた品質と信頼性の高い性能のために設計されており、少量生産と大量生産の両方を可能にします。12B-6Lには、30インチのスチール製のエンクローズドチャンバーとトランスミッション強制空気換気を備えており、機械内のすべてのウェーハの均一な研磨を達成するために不可欠な効果的な温度制御を可能にします。このツールはまた、過剰な粉砕圧力と温度によるウェーハの破損の可能性を排除します。6つの粉砕車輪はテーブルで個別に調節可能で、自動反復粉砕シーケンスのためにプログラムすることができます。SPEEDFAM 12B-6Lには、プロセス制御アセットであるWork Flow Monitor （WFM）も搭載されており、サイクルごとに均一性と再現性を維持し、ウェーハの形状と表面仕上げを確実に維持します。このモデルは、プログラム可能なメモリカードを使用して、ウェーハのサイズと厚さごとに一貫した結果を提供します。生産中の最高品質を維持するために、12B-6Lはヒューマンエラーによる操業上の事故を防ぐ「安全インターロック」を使用しています。研削砥石の上に第12世代ラッピングプレートを配置し、エッジと表面バリ除去を行います。さらに、電動ワークヘッドは様々な角度OSA（光球収差）に調整可能で、高精度で鮮明な画像でウェハを生成します。装置はすべての生産のデジタル記録を提供するコンピュータモニターおよびプリンターが装備されています。これにより、完成したウェーハ数、研磨サイクル数と時間、研磨パラメータ、およびウェーハ表面条件のデータログが得られます。このログは印刷され、データのさらなる分析、プロセスのレビュー、継続的な最適化を可能にします。SPEEDFAM 12B-6Lは、時間のかかる手動操作を排除し、生産性を向上させる信頼性の高いシステムです。高精度で再現性に優れ、半導体製造において重要なツールです。