中古 SPEEDFAM 12B-5L #293795196 を販売中

SPEEDFAM 12B-5Lは、ウエハ研削、ラッピング、研磨装置で、高精度、高効率を必要とするアプリケーションに多種多様な機能と利点を提供します。12B-5Lは5インチまで前部および裏側のウェーハの直径を処理できます。可変速度DCモータを搭載し、9,000〜45,000RPMの様々な研削速度を実現しています。SPEEDFAM 12B-5Lは、研削領域へのアクセスを防止し、インターロックがクリアされるまで機械が動作するのを防ぐ安全インターロックシステムが含まれています。12B-5Lは一定圧力粉砕の技術を利用してウェーハの表面の終わりの均等性を保障します。自動補償制御機能は、研削圧力を補償し、均一な仕上がりと精度を確保します。このユニットには、ダイ中心のディスクも含まれており、正確なウェハ同心性と位置精度を可能にします。さらに、SPEEDFAM 12B-5Lには可変送り速度が装備されており、プロセス時間を最小限に抑え、過剰研削および下研削のリスクを低減します。12B-5Lはウェーハの安全で容易なローディングおよび荷を下すことを可能にする回転式テーブルの索引機械を特色にします。テーブルインデクサーツールは、4つの粗い駆動ネジと4つの微細な駆動ネジで構成され、それぞれが高速モータによって独立して駆動され、テーブルを所望の位置に正確に移動させることができます。SPEEDFAM 12B-5Lには、半径研削、プロファイル研削、ヒール面取りなどの特殊な操作を実行するために素早く取り付けることができるインデックス研削アタッチメントも含まれています。インデックス研削アタッチメントには、45度前後に移動できる可動スライドブロックを装備し、研削作業の柔軟性を高めています。また、12B-5Lには圧力調節可能な真空チャックも装備しており、研削作業中にウェーハをしっかり握ることができます。この真空チャックは、ウェーハ上で信頼性の高いグリップを形成し、一貫して滑らかで正確な表面仕上げを提供します。全体として、SPEEDFAM 12B-5Lは、高精度と効率を必要とするアプリケーション向けに設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨資産です。高い精度と一貫性を必要とするオペレーションに理想的なモデルとなる幅広い機能と利点を提供します。