中古 SPEEDFAM 10.5B-5L-V #9353060 を販売中

SPEEDFAM 10.5B-5L-Vは、半導体ウェーハ上に超平坦な表面を生成するように設計されたシングルパスウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このマシンは、ドープされた材料とドープされていない材料の両方で必要な高品質の仕上げを生成するためのコンポーネントと機能のユニークな組み合わせを提供しています。このモデルは、自動制御と堅牢な設計により、完全な循環研削とラッピングを可能にし、高品質の結果を生み出す高精度と制御を提供します。機械の研削およびラッピング部品は、効率的で信頼性の高いドライブシステムによって駆動されます。このユニットは高速VFDモーターコントローラを備えており、速度と送り速度を正確に制御できます。特別な冷却装置は機械が最適な性能のための固定温度で働くことを保障します。機械はまた、いくつかの高度な機能を備えた研削、ラッピング、研磨技術の最新の進歩を含みます。機械は表面の欠陥を除去し、均一な表面の終わりを提供するのに高度の粉砕の段階を使用します。ステージは、重圧で基板に対して強制的に研磨材料を有するだけでなく、表面の欠陥を見落とすリスクを排除するベクトル設計。このステージはまた、ラッピングと研磨操作と相まって、所望のレベルの仕上がりを実現します。ラッピングプロセスは、目的の表面仕上げが達成されるまで基板上の円運動で実行される特別な研磨材料の使用を含みます。このプロセスは、機械の回転ラッピングホイールによって促進され、均一で一貫した磨きを生み出します。さらに、ラッピングプロセスは、一貫した表面仕上げを保証する精密ダイヤモンドブレードによって終了し、不完全さを排除します。機械の磨く段階はより良い終わりの生産を可能にします。これは、特別に設計された研磨パッドとダイヤモンドチップブレードを使用することによって達成されます。これらの部品は協力して可能な限り最高品質の結果を提供します。基板表面から汚染物質を除去するための特殊なスクラバーツールも付属しています。最後に、SPEEDFAM 10.5B-5L-Vウェーハ研削、ラッピング、研磨アセットは、使いやすいオペレータインターフェースと統合されています。このインターフェースにより、ユーザーはマシンの設定をカスタマイズして監視し、最適な製品品質を保証できます。このモデルはまた、完全な生産トレーサビリティを提供し、すべての作業を正確に追跡できます。結論として、SPEEDFAM 10.5B-5L-Vは強力で効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このモデルは、最高品質の結果を保証するために高度な機能の広い範囲を備えています。さらに、オペレータインターフェイスは、生産サイクル時間を最小限に抑えるメンテナンス性と直感的なユーザーコントロールを提供します。これらの機能はすべて、優れたトレーサビリティと生産性を備えた優れたウェーハ処理システムを提供するために組み合わされています。