中古 SPEEDFAM 10.5B-5L-V #9257685 を販売中

SPEEDFAM 10.5B-5L-Vは、半導体製造設備で使用するために設計されたプロフェッショナルグレードのウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。10。5インチのプラテンは、低振動で最大5ミクロンの精度を提供します。このシステムには、12,000〜35,000 RPMのスピンドル速度と最大50 N-cmの研削力が含まれます。可変速度コンベアにより、迅速なウェハローディングとアンロード、および可変速度研削が可能です。10.5B-5L-Vは、予備研削、ラッピング&研磨、および最終研磨からなる3段階のウェーハ仕上げプロセスをユーザーに提供します。250ワットのLEDヘッドライトと統合されたスリットパターンダイヤモンドは、ウェーハ研磨に必要な照明を提供します。高精度の4軸受スピンドル設計により、より高いRPM研削時に発生する熱を除去するチルトベアリングを採用しています。これにより、歪みを防ぎ、正確な研磨結果を保証します。また、低振動設計により、研削作業中の小さな部品の振動も低減します。10.5B-5L-Vには、よりスムーズな操作とより良いウェーハ研削と研磨精度を提供する統合されたエアフロートマシンがあります。セラミックラッピングプレートは均質な表面を提供して平坦性を向上させ、5つのカスタム構成された周辺研削ブレードはウェーハの端から素早く材料を取り除きます。このツールには、研磨作業中の優れた滑りを保証する統合冷却アセットも含まれています。さらに、10.5B-5L-Vにはマイクロプロセッサ制御のオペレーティングモデルとユーザプログラミング可能な機能が搭載されており、非常に使いやすいです。より良いプロセス制御のために、10.5B-5L-Vには、研削パラメータ、品質管理データ、およびその他の重要なパラメータを記録するリアルタイムデータ追跡装置が含まれています。このデータを使用してプロセスパラメータを調整し、スループットと信頼性を向上させることができます。SPEEDFAM 10.5B-5L-Vは、低振動、可変速度研削、マイクロプロセッサ制御、リアルタイムデータトラッキングにより、半導体製造工場でのウェーハ研削、ラッピング、研磨作業に簡単かつ信頼性の高いソリューションを提供します。そのユーザーフレンドリーなデザインと信頼性の高いパフォーマンスにより、あらゆるウェーハ処理環境に最適です。