中古 SPEEDFAM 10.5B-5L-V #9237028 を販売中

SPEEDFAM 10.5B-5L-Vは、高度な傷のない微細平面加工を完了するために設計された精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。それに冷却装置、ダイヤモンドのスラリーの磨く機能の広い範囲があり、直径300mmまでウェーハを粉砕し、磨くことができます。10.5B-5L-Vは、4軸モーションコントロールマシンを搭載したダブルディスクユニットで、様々な特殊な表面仕上げを実現するために必要な精密制御が可能です。このツールは、最大5個の研磨研磨/研磨ディスクをサポートでき、それぞれを速度、幅、角度に合わせて調整でき、各アプリケーションのカスタマイズされたプロセスを可能にします。ヘッドフィードは高精度のリニアフィードアセットによって駆動され、高精度の反復可能な動きを保証します。また、真空チャンバーを備えており、破片が作業面を汚染するのを防ぎます。SPEEDFAMのウェーハの粉砕モデルは安全を改善し、きれいで、ほこりのない環境を提供するために十分に封じられたキャビネットを特色にします。この装置には一連の圧力レギュレータ、フローセンサー、およびインラインフィルトレーションが装備されており、圧力と体積の適切な組み合わせが研削/研磨ディスクに一貫して供給され、高品質で再現性のある結果が得られます。このシステムにはプロセス検証機能も含まれており、本番環境に最適です。堅牢なデータロギングにより、各研削または研磨サイクルの詳細な記録、および途中で行われた変更および調整を維持するための中央ユニットが可能になります。機械には自動工具摩耗補償と研削速度制御も含まれており、ユーザーが再現可能な正確な結果を何度も達成できるようにします。SPEEDFAM 10.5B-5L-Vは、最も要求の厳しいアプリケーションで優れた設計です。半導体、フォトニクス部品、先端材料に関わらず、10.5B-5L-Vは最高レベルの精度と精度を提供し、要求の厳しい表面仕上げを実現します。