中古 SIM RRF / 660 #9066958 を販売中

SIM RRF/660は、ウェーハおよび基板の精密加工のための高性能、自動化された操作のために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。3個の独立した研削/ラッピング/研磨ヘッドを備えており、生産性の向上とサイクルタイムの短縮を可能にします。さらに、このシステムには多種多様なプロセスパラメータが用意されているため、ユーザーはプロセスをより適切に制御できます。RRF/660は、高精度かつ効率的に基板を研削、ラップ、研磨するように設計されています。このユニットには、真空密閉チャンバーと高精度スピンドルに加えて、統合されたSiemens Sinumerik 840Dコントローラが装備されています。真空密封された部屋は正確な、反復可能なプロセス制御を可能にし、良質の結果を保障します。高精度スピンドルは、精密なウェーハ研削、ラッピング、研磨結果を保証し、高品質の半導体アプリケーションに最適です。SIM RRF/660は、さまざまな自動機能を誇っています。例えば、ローダーとアンローダーを統合することで、さまざまな基板やウェーハの効率的なカスタムローディングとアンロードが可能になります。さらに、このマシンは、精度を向上させるための完全なアライメント機能と、より簡単な操作のためのインデクサとプロセストラッキングを備えています。RRF/660は、幅広いウエハおよび基板プロセスに対応しています。これらのプロセスには、ウェーハグラインド、ラップ、ポリッシュ、および表面プロファイリングおよび化学機械研磨が含まれます。さらに、このツールにはオプションのビーム削減およびクリーニングモジュールが装備されているため、プロセスの精度が向上し、アセットのダウンタイムが短縮されます。