中古 SHUWA SW-07 #293638640 を販売中
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ID: 293638640
ウェーハサイズ: 4"
ヴィンテージ: 2014
Single side polisher, 4"
SiC and GaN
Air pressure: 0.5 MPa
Consumables / Accessories
Manuals
Power supply: 200 V, 3 Phase, 15 A
2014 vintage.
SHUWA SW-07は、超精密、低粗度のウェーハを迅速かつ正確に製造するように設計された、全自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。SW-07ウェハグラインダーは最大5軸同時運動を提供し、シリコン、ガリウム、窒化アルミニウム、ステンレス鋼、チタン、磁性材料などの基板上の単純なフラットエッチングから複雑な輪郭形状まで、幅広い研削用途に対応できます。このシステムは、CARC機能を使用して設計されており、さまざまな研削深度とさまざまな穴サイズを迅速かつ正確に処理することができます。SHUWA SW-07ユニットは全自動で動作するように設計されており、ワンボタン操作によりウェーハの正確な研削とラッピングが可能です。内蔵のモーションコントロールマシンにより、ツールを簡単にプログラムして操作し、一貫した結果を得ることができます。さらに、統合された総研削時間モニターは、進捗状況を追跡し、資産の一貫したパフォーマンスを確保するのに役立ちます。このモデルはまた、研削面が安定して変化しないようにするための温度監視装置を備えています。SW-07はまた超滑らかな表面の終わりを達成するのに機械が使用することを可能にする磨くシステムを特色にします。クローズドループユニットを備えており、高精度のデジタル信号プロセッサ(DSP)コントローラによって制御される研磨速度を正確に制御できます。これにより、より優れた表面仕上げを実現するために、正確で再現性のある研磨作業が保証されます。また、SHUWA SW-07はオプションの補助ウェハローディングとアンロードマシンも提供しており、手動と完全自動の両方の環境で使用することができます。補助ロボットは、ウェーハの積み降ろしを迅速かつ正確に管理することができ、人員ミスのリスクを排除します。全体的に、SW-07は、高精度、低粗度ウェーハを製造するための高度で信頼性の高い正確な研削、ラッピングおよび研磨ツールであるように設計されています。この資産は非常に効率的でユーザーフレンドリーであり、長期にわたって一貫した結果を保証するためにいくつかの高度な機能を提供しています。統合されたモーションコントロールモデルと研磨装置は、研削、ラッピング、研磨プロセスを正確に制御します。補助ウェーハの積み下ろしシステムにより、ユニットの汎用性がさらに向上し、幅広い用途での使用が可能になります。
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