中古 SCHNEIDER SCG 121 #9161016 を販売中

シュナイダーSCG 121は、高度なIII-V化合物半導体デバイスの製造のために特別に設計された完全に自動化されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。半導体業界では初の製品であり、ナノスケールの小型ウエハ上で高精度に複雑なプロセスを実行するための完全自動化ソリューションを提供しています。SCG 121は、ウェーハを保持するためのマニピュレータアーム、エアーベアリング研磨/研磨ディスク、および研磨/研磨の方向に対してウェーハを回転させる単軸傾斜ステージの3つの加工部品で構成されています。ウェハはマニピュレータアームに装填され、所定の位置に固定されます。マニピュレータアームはディスクに移動され、さまざまな研磨/研磨角度に調整することができます。チルトステージは、ウェーハがディスクの同じ領域を絶えず通過するように調整することもできます。システムには、各プロセスの研削/研磨角度、速度、持続時間の設定など、操作全体を制御するためのグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた制御ユニットも含まれています。さらに、一部のモデルには、プロセス履歴とパラメータをロギングするためのデータロガーが用意されています。このユニットは、高度なフィードバックと制御技術で構築されており、長時間の生産運転でも最小限の変動で高精度の許容誤差と極端なプロセス再現性を実現します。機械の自動運転と相まって安定性が要求されるため、ナノスケールゲートスレッショルド電圧の作成や、全面研削と研磨技術を使用した高度な金属化層の接合など、最も要求の厳しい高信頼性の半導体デバイス製造プロセスに最適です。シュナイダーSCG 121はまた、エメリークロス、ダイヤモンド含浸パッド、ラッピングフィルムなどのさまざまなメディアを選択して、最適な表面仕上げ品質を達成するための研磨/研磨プロセスのカスタマイズを可能にします。その優れた機械構造設計は、高い振動環境に適しており、優れたプロセス安定性と長期的な信頼性のための効率的な工具冷却および加熱も提供します。この資産は、オペレータの安全を確保するための安全機能も備えています。SCG 121は、半導体製造において優れた柔軟性、精度、生産性を提供するウェーハ研削、ラッピング、研磨の最先端モデルです。この多機能装置は、ナノスケールの機能を備えた信頼性の高い精密なデバイスを作るための理想的な選択肢です。