中古 SCHNEIDER CCP Nano 2 #293645058 を販売中
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ID: 293645058
ヴィンテージ: 2016
Polisher
Type: Semi-automatic
Liquid cooling unit
2-Station
Power supply: 400 V, 3 Phase
2016 vintage.
シュナイダーCCPナノ2は、精密表面処理用に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、-10°Cから40°Cまでの温度と20〜80% RHまでの湿度を持つクリーンルーム用途向けに設計されています。それはクリーンルーム級のステンレス鋼の表面および内部照明が付いている十分に封じられた暖められた作業室を特色にします。単位は調節可能な速度および調節可能な働き圧力の高精度の直接ドライブモーターが装備されています。研削、ラッピング、研磨プロセスは、制御された研磨媒体の動きによって精密に行われます。特別な作業プロセスは、粗い、中間的な、および微細な研磨からなる3つの重複研削、ラッピング&研磨サイクルに分かれています。研削サイクルは、エッジ損傷を最小限に抑えて材料を非常に均一に除去できるように設計されています。さらに、ラッピングサイクルは、特殊な研磨メディアプロセスを利用して非常に平坦な表面を取得します。最後に、仕上げサイクルは非常に高いレベルの光学滑らかさを持つ鏡面のような表面を作成します。このマシンは、使いやすいマクロを備えたグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えており、ツールを素早く簡単にセットアップできるだけでなく、サイクルパラメータやランタイム制御などの高度な機能も備えています。制御アセットにより、各サイクル中の圧力、サイクルタイム、およびその他のパラメータを正確に制御できます。このモデルは、ウェーハキャリアを変更しながら余分な安全性を可能にする「Safe」チップスピンニンモードを内蔵しています。また、真空システム、圧縮空気、冷却ガスの外部接続があり、プロセスの外部監視と制御が可能です。CCP Nano 2は、信頼性の高い使いやすいソフトウェアアプリケーションを使用して、完全に自動化された操作用に設計されています。統合されたマイクロプロセッサ制御プロセスバルブシステムは、すべてのサイクルパラメータを正確に制御します。さらに、研磨圧力と供給圧力の自動キャリブレーションは、起動プロセス中に自動的に適用されます。全体として、シュナイダーCCPナノ2は精密表面処理用に設計された先進的なユニットです。機械は精密で反復可能なプロセス、オートメーションおよびオペレータの安全の高レベルのために設計されています。統合された機能とパラメータにより、研削、ラッピング、研磨プロセスを正確に制御でき、クリーンルーム用途に適しています。
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