中古 SCHNEEBERGER Sirius SMG #9066971 を販売中
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タップしてズーム
ID: 9066971
ヴィンテージ: 1994
Grinding machine
Max. grinding diameter 200 mm
Grinding length 200 mm
Workpiece length mm
Control FANUC
1994 vintage.
SCHNEEBERGER Sirius SMGは、さまざまなウェーハ加工アプリケーション向けの完全で精密な加工ソリューションを提供する高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。コンパクトでモジュラー設計をベースに、高精度なインライン研削、ラッピング、および最大限の精度で複数のサイズのウェーハの両方の研磨など、さまざまな機能を誇っています。様々なプロセスパラメータに対する正確な力制御を提供するIndex Servo Control (ISC)などの32ビットアーキテクチャと、均一で適切な研削結果を保証する統合された二軸傾斜スピンドルを備えています。さらに、このユニットには、可変ファインスラッピングヘッド、統合された光学保護マシン、高精度のCleanTEC真空バリ取りステーションなど、多くの特殊機能が搭載されています。このツールには強力で信頼性の高いサーボドライブアセットが装備されており、最大100mmのウェーハと0。2〜3。2mmの厚さの厚さを処理できます。そのラッピングヘッドはまた、処理能力の範囲を提供することができます。このモデルは、シングルステップ研削およびラッピング操作、モーションスムーズ化のための動的振動技術を実行することができ、最適なプロセス有効性のために最大2000rpmの切削速度を達成することができます。中央のコントロールパネルを使用すると、重要な機器情報にすばやくアクセスできます。オプションの豊富で使いやすいコントロールインターフェイスを使用すると、簡単なナビゲーションと自動化されたプロセスプログラミング、およびカスタムプロファイル設定の手動調整が可能です。また、幅広い機能と使いやすい設定により、時間を節約し、オペレータの疲労を最小限に抑えるように設計されています。複数のウエハータイプを順番に処理できるオートフィード機能と、加工プロセスのグラフィカルなビジュアライゼーションでユニットを監視および制御できるPC互換ソフトウェアが内蔵されています。さらに、汚れた残留物や粒子を集めることでよりクリーンな作業環境を確保する自動濾過機や、ウェーハの正確かつ正確な積載を保証する自動位置決めツールなどのオプション機能により補完されています。全体として、Sirius SMGアセットは、柔軟性、パフォーマンス、手頃な価格の優れた組み合わせを提供します。その強力なハードウェア、革新的で直感的なソフトウェア、幅広い機能により、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨アプリケーションに最適です。
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