中古 SATISLOH TORO X #293610550 を販売中

SATISLOH TORO Xは、さまざまな基板上で高精度、低ノイズのスラリー研磨表面仕上げを実現するために特別に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。SATISLOH TORO-Xは、シンプルで直感的なソフトウェアシステムにより、簡単な操作と正確な処理を実現します。このユニットは、特許取得済みのAIRFALLマシンに基づいた軌道研削アクションを使用しており、単一のマシンで非常に微細な研削と研磨を可能にします。このツールは、一貫した反復可能な結果と最大のプロセス柔軟性を保証する高度なマイクロプロセッサによって駆動されます。アセットは特殊研磨スラリーとスラリー再循環モデルを使用し、研削/研磨プロセス全体に効率的なメディアとスラリーを提供します。ウェハ研削は、さまざまな交換可能な研削ヘッドで行われます。研削ヘッドは調整可能なダイヤモンドホイールで接合され、制御された一貫性のあるカットサイズを確保します。適応性の高い研削ヘッドは、シリコンから複雑な材料まで、さまざまな基板で異なる研削加工を行うことができます。ラッピング操作は、ラッピングストーンによって行われ、ビデオカメラを回転させ、完成した表面の状態を観察する能力を持つ回転アームに取り付けられます。これにより、研磨プロセスの最初から最後まで品質管理が保証されます。ラッピングストーンは、必要に応じて微細な仕上がりを提供するために調整することもできます。最後に、研磨工程はバッフィングステーションと研磨パッドの組み合わせによって達成されます。バッフィングステーションは、複数のパッドサイズと接着剤で構成されており、研磨時の可変速度と圧力を可能にします。研磨パッドは研磨剤を使用して残りの表面の凹凸を除去し、所望の仕上げを実現します。結論として、TORO Xは、高精度、低ノイズ基板を生成する強力で正確で高度に適応可能な研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは使いやすく、交換可能な研削ヘッドと研磨パッドで柔軟性を提供します。これらの機能により、TORO-Xは精密表面仕上げに最適です。