中古 SATISLOH Duo-Flex #9411240 を販売中

SATISLOH Duo-Flexは、より高いスループット、精度、一貫した結果で生産を可能にするように設計されたウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。このシステムは、2つの独立した研削トラックを使用しています。Duo-Flexは高速かつ低分散排出量で動作するため、最大8インチ（200mm）のウェーハをスムーズに連続処理できます。SATISLOH Duo-Flexのモーションコントロールユニットは、正確なパラメータを簡単に設定して調整できるため、さまざまなレベルの硬度の材料を自動処理できます。Duo-Flexは、シングルステップモードまたはマルチステップモードでウェーハを処理する柔軟性を提供します。シングルステップモードでは、1つのパスでフレークが除去され、複数のステップモードではサーフェス準備の精度が向上します。このモードでは、研削、ラッピング、および/または研磨プロセスは、異なる研磨剤または化合物を使用して、2つ以上のステップに分割されます。アモルファスダイヤモンド、ダイヤモンド充填樹脂、CMC、セラミックベースの研磨化合物など、さまざまな種類の研削砥石や研磨材料に対応します。これらにより、ウェーハは、用途や許容度の要件に応じて、さまざまなレベルの表面粗さと粗さの平均に研磨することができます。研磨材と研磨材は、関連するパラメータの監視により、手動または自動で簡単に変更できます。SATISLOH Duo-Flexは、ダイヤモンド投与ツールと真空ステーションを含む微調整メカニズムも提供しています。ダイヤモンドの投与アセットは、材料特性に特化したウェーハ上に正確な量のダイヤモンド化合物を分配することができ、真空ステーションは余剰材料を除去してモデルの洗浄とメンテナンスを容易にします。さらに、Duo-Flexには検査ステーションが装備されています。加工されたウェハの画像をスキャンし、地形と表面状態の両方を評価します。このフィードバックにより、オペレータは必要なパラメータの変更をその場で行うことができ、繰り返しプロセスにおける理想的な条件の複製を可能にします。結論として、SATISLOH Duo-Flexは強力で高性能なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。高速、高精度の制御と柔軟性により、高いスループット、微調整、一貫した結果が得られます。