中古 SATISLOH Duo-Flex #9394939 を販売中

SATISLOH Duo-Flexは、SATISLOHの最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、デュアルスピンドル設計と2つの独立した研削盤を使用しており、複数のウェハで同時に作業することができます。これは、ウェーハをさまざまな方向に回転させ、速度を調整することで、非常に効率的なウェーハ処理を実現します。まず、ウェーハは、上部と下部のクランプで研削室にロードされます。研削チャンバは自動的にウェーハの適切な適合を確保するために高さと幅を調整します。次に、キャリブレーションローラーのセットを使用して、研削チャンバ内のウェーハの適切な向きを決定し、均一な研削の圧力を確保します。このプロセスは、精密かつ効果的な研削を保証するために、いくつかのユニークな技術を利用しています。1つ目は、2つの反転研削面を組み合わせたデュオフレックスプロセスで、優れた精度で同時ラッピングと研磨を可能にします。特許取得済みの「Isopolar」研削プロセスは、ウェーハの品質をさらに向上させ、2つの独立した電気的に反対の研削ディスクを使用して静的充電とエッジ丸めを排除します。最後に、このユニットには特許取得済みの「インテリジェント平面検出」マシンも含まれており、研削中にウェハの表面を監視し、研削ホイールを自動的に調整して精密な仕上げを行います。このプロセスは、より高いスループットを可能にし、完成品の不完全さの数を減らします。SATISLOH Duo-Flexは、幅広い業界で動作するように設計されており、正確に加工された表面を持つウェーハの生産に強力で信頼性の高い機械を提供します。デュアルスピンドル設計と高度な機能の組み合わせにより、Duo-Flexは表面仕上げを0。2 µmまで素早く実現する非常に効率的な方法です。