中古 SATISLOH Duo-Flex #293588017 を販売中
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SATISLOHデュオフレックスウエハ研削、ラッピング、研磨装置は、あらゆる半導体製造設備にとって不可欠なツールです。このシステムは、シリコン、石英、磁性材料、その他のエキゾチック基板など、さまざまな種類の材料を処理することができます。Duo-Flexは汎用性の高い設計により、研削および研磨パラメータを高精度に制御することができ、お客様は優れた生産歩留まりと一貫した製品品質を達成することができます。ユニットは複数のモジュールで構成されています。研削モジュールは2つの独立した高出力の研削モータで構成されており、さまざまな研磨特性を持つさまざまな材料を処理することができます。さらに、別の湿式加工ステーションも用意されており、高効率で再現性の高い表面処理プロセスを提供します。ラッピングモジュールには、制御された速度と距離で材料を処理する2つの非接触スイングタイプのラッピングモジュールが装備されているため、高い表面精度と仕上げが得られます。研磨モジュールは、研磨パラメータを簡単かつ正確に制御することで、非常に均一な研磨結果を提供するように設計されています。このモジュールには、異なる研磨プロセスのための可変速度と複数のスピンドル構成を備えた高出力モータが含まれています。また、柔軟なプロセスレシピストレージと検索マシンを備えており、簡単なセットアップと最適な結果を得ることができます。SATISLOH Duo-Flexには、直感的なユーザーインターフェイス、リアルタイムプロセスモニタ、およびエンジニアが処理中に発生する可能性のある問題を迅速に特定するための診断ツールなど、さまざまな制御システムが装備されています。また、緊急停止資産や作業者の疲労を軽減する人間工学に基づいた設計など、さまざまな安全機能を備えています。Duo-Flexは、あらゆる半導体製造設備に最適な研削、ラッピング、研磨モデルです。正確で信頼性の高いパフォーマンスにより、高品質な結果を確実に得ることができます。
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