中古 SATISLOH Auto-Flex #9354588 を販売中
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SATISLOH Auto-Flexは、半導体産業で使用するために設計された精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。さまざまなウェーハサイズに適しており、システムは完全にプログラム可能で、1サイクルで複数のプロセスを実行できます。このマシンはモジュラー設計を備えており、特定のアプリケーションへの容易な適応と構成を可能にし、クリーンな作業環境を確保するために完全に囲まれています。Auto-Flexの中心には、研磨・研磨ユニットが内蔵されており、高い表面仕上げを実現しています。このユニットは、最大3つのラッピングおよびポリッシングカセットで構成することができ、異なるレベルの精度でのラッピング/ポリッシング操作を可能にします。最大10の研削/ラッピング/研磨ステップのマルチステップ操作は、柔軟性と効率を最大限に高めるために、いつでも保存およびリコールできます。ACサーボモータ駆動も搭載し、精度と再現性に優れています。このツールは、フリップチップボンディングの準備、ストレス解消、コンタクトラッピング/研磨など、さまざまなウェーハ研削および研磨アプリケーションに使用できます。SATISLOH Auto-Flexは、非破壊試験や電気試験、エッチング用のサーフェスの準備にも使用できます。このアセットは、ラッピング/研磨作業中にウェーハを測定および分析できるため、高度なプロセス制御機能を提供します。Auto-Flexは安全性を念頭に置いて設計されており、安全インターロックモデル、緊急停止ボタン、オペレータ保護用の内蔵安全ガードを備えています。また、柔軟なオートメーション機能を備えているため、機器を自動ウェーハ製造ラインに組み込むことができます。このシステムは、プログラム可能なジョブストレージとリコールも備えており、生産性と柔軟性が向上します。SATISLOH Auto-Flexは、優れた結果をもたらすパワフルで信頼性の高いユニットです。高度な機能と優れた柔軟性を備えたこのマシンは、半導体業界のさまざまなウエハサイズの研削、ラッピング、研磨に最適です。
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