中古 SATISLOH Auto-Flex #9247434 を販売中
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SATISLOH Auto-Flexは、さまざまなサイズと形状のウェーハに柔軟に対応できる多機能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このユニットは、フラット、シェイプ、および輪郭のあるウェーハを研削するために設計されており、1回の実行ごとに単一および複数のウェーハの両方を処理できます。Auto-Flexは、半導体業界の高い表面品質ニーズを満たすことができます。SATISLOH Auto-Flexシステムは、さまざまなウェーハ形状およびサイズを処理するために、剛性および方向性の研削モジュールを使用しています。使い易いHMIを搭載し、直接のユーザーインターフェースとワンタッチセレクションにより、研磨・研磨作業が異なります。これは、研削および研磨パラメータを正確に制御するために、スピンドルと回転テーブルの両方のためのデュアルドライブを備えています。この機械は、複数の研削セグメントを備えた高性能の研削ヘッドを備えており、最適な研削とラッピング性能を提供します。研削ヘッドには、高い生産性とプロセスパラメータの最大限の柔軟性のための可変速度制御が装備されています。さらに、Auto-Flexには、オプションのデジタル画像認識ツールを備えた高度なエッジプロファイル制御マシンがあり、エッジの厚さとプロファイル制御に優れた精度と再現性を提供します。アセットはさらに研磨ロボットと統合され、一貫性のある再現性のある結果を保証します。このロボットは、研削から研磨ステーションへの迅速かつ正確で安全なウェハ転送を保証するために、高度なウェハハンドリングモデルを備えています。SATISLOH Auto-Flexには、オペレータ保護のための安全バリア、粉砕圧力を監視する圧力センサー、ウェーハ保護のための過熱保護など、いくつかの安全機能も装備されています。オートフレックスは、半導体産業におけるウェーハ研削、ラッピング、研磨において最も要求の厳しい要件を満たすことができる非常に効率的な装置です。その汎用性、精度、再現性は、高精度の半導体製品の製造に不可欠なツールです。
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