中古 SATISLOH Auto-Flex #293637320 を販売中
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SATISLOH Auto-Flexは、シリコンウェーハの表面平坦性と平面化を最大限に実現するように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、ラッピングおよび研磨プロセスで機械加工されながら、ウェーハの回転速度と軌道運動の両方を正確に制御する高精度の二軸運動ユニットを備えています。結果として生じる平坦性と平坦性は、高周波特性と複雑な表面トポグラフィーでさえ、例外的です。オートフレックスは、特許取得済みのフラットフォース補償機を使用して、超薄型の特殊ウェハを加工します。このツールは、公称力からの妨害を最小限に抑え、高品質の表面を確保するように設計されています。SATISLOH Auto-Flexには、調整可能なスピンドル振動と負荷、コンピュータ生成された厚化または薄化プロファイル、積極的なスクラブ、液体冷却、およびバリ取りなど、より大きな制御と柔軟性を可能にする多数の追加機能が装備されています。Auto-Flexは、パッドとツーリングステーションの両方がウェーハのサイズと形状を最も正確に制御するために調整可能なユニークなツーリングアセットを使用します。調節可能な工具細工モデルは、SATISLOHの精密セラミックホイールと組み合わせて、最高の精度と再現性を可能にします。SATISLOH Auto-Flexは、ホイールウェアとホイールローテーションの継続的なチェックにより、ピーク性能を保証するセルフモニタリング装置も備えています。精密な加工機能に加えて、Auto-Flexはオンボードの計測ステーションで正確な計測性能を提供できます。精密スキャンシステムと光学プロフィロメータを備え、ウェーハ表面全体を迅速かつ正確に評価することができます。スキャンユニットは、平面以外の特徴、均一性、および全表面の平坦性を見つけて測定することができます。SATISLOH Auto-Flexは、シリコンウェーハのニーズに合わせて最高レベルの平面化と平坦性を実現したいお客様に最適なソリューションです。精密で再現性のある高品質のコンポーネントと機能を備えており、非常にユーザーフレンドリーです。Auto-Flexは、最も高精度で正確な仕上げ面を作成するのに最適なソリューションです。
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