中古 SATISLOH Auto-Flex #293618556 を販売中

ID: 293618556
ヴィンテージ: 2007
Polisher 2007 vintage.
SATISLOH Auto-Flexは、半導体、オプトエレクトロニクス、マイクロエレクトロニクス業界の精密アプリケーション向けに特別に設計および構築された自動精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、ウェーハなどの敏感基板の自動研削、ラッピング、研磨にロボットウェーハ処理を利用し、各基板の高精度と再現性を確保します。SATISLOHのAuto-Flexユニットは多機能機能を備えており、処理時間を短縮し、製品の表面品質を向上させることができます。SATISLOHのオートフレックスマシンは、堅牢な光学ハンドリングツール、洗練された制御プラットフォーム、研削、ラッピング、研磨プロセスモジュールで構成されています。柔軟なモジュール設計により、アセットは個々のアプリケーションの特定のプロセス要件に合わせて調整することができ、1µmの最大表面粗さで高品質な結果を生み出すことができます。Auto-Flexモデルでは、より高速で正確なウェーハ位置決めが可能な機能認識およびアライメントステーションの統合も可能です。SATISLOH Auto-Flex装置に内蔵されている統合化学処理モジュールは、メインシステムとは独立して動作するように特別に設計されており、高い精度と再現性を備えたウェハの自動処理を可能にします。これにより、ユーザーは、処理された基板の汚染物質のない表面仕上げと総平坦性を正確に制御することができます。これに加えて、エッジグラインドやバリ取りなどの特殊なプロセスサイクルと組み合わせることができ、より高度なプロセスの自動化と精度を実現します。SATISLOHのこの機械は100mmから300mmまでの範囲のウエハを扱うことができ、各適用の生産条件を満たすために柔軟性および範囲を提供します。モジュラー設計により、このツールは比類のないプロセス制御と効率を提供し、一貫して反復可能な結果をもたらします。アセットはクローズドループ制御プラットフォーム上で動作し、より高い精度を実現するために統合可能なオプションのビジョンシステムも提供します。全体として、SATISLOHのAuto-Flexモデルは、効率的で再現性の高い精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置であり、高信頼性で費用対効果の高いソリューションをユーザーに提供します。このシステムは、ユーザーが特定のアプリケーションに合わせてカスタマイズできるため、比類のない結果と再現性が得られます。
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