中古 SATISLOH Auto-Flex #293587835 を販売中

SATISLOH Auto-Flexは、シリコンデバイス用途における製造プロセスの品質とスループットを最大化するように設計された自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。研削材をウェーハ表面に貼り付け、研磨ディスクを使用して表面平坦性を完成させることにより、システムが動作します。オートフレックスは、自動ローディング、研磨、およびアンロードユニットで構築されており、より効率的で一貫した操作を可能にします。ウェーハは自動ローダー上に配置され、ロボットアームシーケンスはウェーハを研磨用に配置して準備します。その後、ロボットアームはウェハをラッピングセクションに移動し、ラッピングディスクと研磨剤を自動的に適用して目的の研削と表面の平滑化を行います。最後に、ロボットアームはウェーハを研磨ステーションに持ち込み、均一で許容範囲内まで研磨します。この機械は、調整可能な保持アームと圧力スプリングを使用して、ウェハを研削およびラッピングディスクと自動的に接触させ、プロセスの品質と精度を向上させます。このツールを使用すると、ウェーハにかかる圧力の量をカスタマイズするだけでなく、ディスクのパワー、回転速度、角度を調整することもできます。SATISLOH Auto-Flexアセットは、緊急停止ボタン、過負荷保護モデル、緊急オフスイッチなどの高度な安全機能を備えています。また、ウェーハが熱くなりすぎるのを防ぐための温度制御も含まれており、変色や密着性が低下する可能性があります。さらに、この装置は、統合されたソフトウェアと、研削とラッピングサイクルを追跡するグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたプロセス監視および記録管理を提供します。オートフレックスは、プロセス設定の面で優れた再現性と柔軟性を備えており、より細かいラッピングと研磨のためにウェーハへの圧力を調整できます。プロセスを迅速に自動化できるため、他のマニュアルシステムよりも時間を効率的かつ費用対効果に優れています。最後に、このシステムは低い労働ニーズを提供し、一貫した製品品質を確保しながらヒューマンエラーのリスクを低減します。