中古 SATISLOH A-II #9241375 を販売中
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販売された
ID: 9241375
ヴィンテージ: 2008
CNC Polisher
Working range:
X-Axis, 5.5"
Y & Z Axis, 5"
Technical data:
Workpiece diameter: 20 mm - 200 mm
Maximum chuck - bonnet distance:
20 mm bonnet, 5"
40 mm bonnet, 4.7"
80 mm bonnet, 2.7"
Materials: Mineral glass, crystals, glass ceramics & germanium
CNC- Axes:
6 Axes CNC
Analog tool spindle
X-Axis:
Nominal travel: ±140 mm
Straightness over full travel:
Vertical: < 10 µm
Horizontal: < 10 µm
X-Axis alignment: < 5 µm
Y-Axis:
Nominal travel: ±130 mm
Straightness over full travel:
Vertical: <10 µm
Horizontal: <10 µm
Y-Axis alignment: <5 µm
Z-Axis:
Nominal travel: ±130 mm
Straightness over full travel:
Vertical: <10 µm
Horizontal: <10 µm
Z-Axis alignment: <5 µm
A-Axis:
Range of movements: ±90°
A-Axis rotation virtual pivot point: <25 µm
B-Axis:
Range of movements: +45°, - 135°
A-Axis rotation virtual pivot point: <25 µm
C-Axis:
RPM: 0-2000
TIR: <5 µm
H-Axis:
RPM: 1-2000
TIR: <20 µm
Head pressure: 0- 4 Bar
Compressed bar: 5 - 8 Bar
Environmental temperature:
Operating temperature: 50°C
Storage temperature: 70°C
Humidity: 80 % RF
Power supply:
Standard: 415V, 50/60 Hz PEN
Power consumption: 8kVA
2008 vintage.
SATISLOH A-IIウェーハ研削・ラッピング・研磨装置は、シリコン・ガラスウェーハの研削・ラッピング・研磨に使用される半導体製造の自動化システムです。この単位は調節可能な速度範囲のための基質の幾何学そして物質的な構成の点で高い柔軟性によって特徴付けられ、線形および回転軸線の機能を含んでいます。LEDウエハ検査、統合冷暖房システム、リアルタイムフィードバックなどの機能を提供します。A-IIマシンは、標準的なシリコン研削およびラッピング工具およびプロセスを使用して、最大直径250mmのウェハサイズに対応できます。また、円筒面と平面面の両方に片面または両面ウェーハを研削することができ、高精度で再現性があります。研削ステーションは、調整可能な速度範囲と2つの直線軸と2つの回転軸による最小変動で均一で反復可能な結果を提供します。一方、ラッピングステーションは、望ましい結果を達成するために、さまざまな技術や材料を組み合わせることができます。例えば、最適な圧力分布を達成し、したがって、プロセスの成功を達成するために内部ボディ力が適用されます。また、調整可能な速度範囲と、特定のウェーハに必要な回転数を正確に計算できるため、高精度な結果を得ることができます。SATISLOH A-IIの研磨ステーションは、最先端のステーションであり、ほとんど欠陥のない研磨面を提供し、表面ステップを除去する能力を特徴としています。また、超音波スラリー、電動スラリー、ブラシ研磨などの技術を組み合わせて、すべての汚染や傷を除去することができます。さらに、その直線軸と回転軸は、理想的な表面仕上げのための正確な制御と調整を提供します。最後に、LEDウェーハ検査ステーションは、ウェーハの完全なイメージだけでなく、詳細な測定と分析を提供します。表面の任意の欠陥を検出することができ、デバイスの特性評価に使用することができます。A-IIは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨において、半導体業界で最も優れています。様々な基板を持つ各種ウェハの加工に最高の柔軟性と精度を提供します。そのユニークで高度な機能は、信頼性が高く反復可能なツールを提供し、生産性の高い施設にとって不可欠な資産となっています。
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