中古 RETRONIX 4520 #293616013 を販売中

RETRONIX 4520は、ウェーハの大量生産用に特別に設計されています。これは、完全に統合されたマルチタスクウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置であり、精密ウェーハエッジ研削、表面ラッピング、および化学機械研磨に不可欠です。この装置は、丸型および長方形のすべてのサイズの標準ウェーハのための非常に自動化されたプロセスを薄く均一にラッピングすることができます。4520ウェーハ研削の中核にあるラッピング&ポリッシングシステムは、強力な5軸ロボットアームとカスタマイズ可能なモーションコントロール技術です。優れた表面仕上げやサイクルタイムの短縮など、優れた結果を得て、一貫したハイスループット生産を可能にします。RETRONIX 4520は、幅広いウエハ径と厚さに対応するとともに、大量生産のための成形ウエハも取り揃えています。研削プロセスは、特注のダイヤモンドホイールを使用して特徴高さを効果的に低減し、専用のラッピングチャンバーは基板を正確に（4 μ m）ラップするように設計されています。研磨ステージは、スラリーと研磨剤を組み合わせた特殊な枕パッド機械研磨パッドを採用しています。結果として得られる高い表面品質と均一性により、幅広い用途に対応できます。4520には、研削およびラッピング段の温度制御を可能にするサーマルグラインドユニットが装備されており、パターン忠実度を向上させ、エッジの丸みを低減します。化学機械研磨機と組み合わせることで、ウェーハの平坦性と重要な機能の再現性が向上します。これにより、ウェーハメーカーにとって、コストの削減、歩留まりの改善、市場投入までの時間の短縮など、非常に貴重な資産となります。RETRONIX 4520は、Windowsベースのユーザーインターフェイスとの完全なプロセス統合を提供します。この強力なパッケージにより、ユーザーは膨大なパラメータにアクセスでき、アプリケーションに完全にカスタマイズできます。また、ユーザーは簡単にレシピを保存して取得することができます。全体として、4520はウェーハの生産作業に不可欠な要素であり、高度に自動化された反復可能で正確な研削、ラッピングおよび研磨プロセスを提供し、すべての生産工程で均一で滑らかな表面と高い表面品質を実現します。