中古 PRESI MECAPOL P320 #9379437 を販売中
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PRESI MECAPOL P320は、半導体業界のニーズに合わせて特別に設計されたハイテクなウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。このシステムは、2つの独立した、完全に自動化された研削および研磨システムで構成されており、独自のインラインプロセスを組み込んでいるため、平面または曲面のいずれかで基板を高速かつ一貫した研磨が可能です。どちらのシステムも使いやすい操作パラメータを備えたユーザーフレンドリーなインターフェイスで制御され、研削および研磨プロセスを完全に制御します。研削ユニットには、最大スピンドル速度6000rpmの高出力18kW研磨モータとクーラント内蔵機を搭載しています。集積冷却工具を使用して摩擦熱を低減し、研削工程全体で最高の表面品質を維持します。また、0-200mm径の空圧研削チャックと、異なる材料タイプの研磨に対応する調整可能な速度制御機構を備えています。ラッピング&研磨アセットは、オペレータが時間とコストを節約しながら、さまざまな種類のツールや材料を簡単に統合することを可能にするモジュラー設計を持っています。このモデルには、直径と速度で調整できる2つの強力な空気圧駆動ダイヤモンド研磨ディスクが装備されていますが、ディスクの位置はサンプルの要件に応じて操作することができます。装置はまた、様々な材料の処理を容易にするために調整可能な動きと力のプラットフォームを組み込んでいます。システムは正確に配置され、動作パラメータと基板の対角方向を確認するために校正検査されます。対称ノッチは回転中心の再現可能な位置決めを保証します。スクラバーは、研磨プロセスを妨げる粒子汚染を除去するための制御された量の電力を提供します。研磨プロセスが完了した後、研磨チャンバーを空にしてホットエアガンで洗浄することで、粒子の汚染を最小限に抑え、次のウェーハ処理ステップにプロセス準備ができた状態を提供できます。MECAPOL P320ユニットは、柔軟性と制御の優れた設計精密ツールです。適切な処理とメンテナンスにより、機械は半導体業界の厳しい要件を満たす、完全に再現可能な結果を持つ最高品質の研磨サンプルを生産することができます。それはいろいろな光電子部品の信頼でき、有効な製造業のための理想的な選択です。
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