中古 POPE P 32TT KUA #9149623 を販売中

ウェーハ研削、ラッピング&研磨システムPOPE P 32TT KUAは、Peter Wolters GmbHによって製造され、半導体業界の研削、ラッピング、研磨用に特別に設計された自動機械です。リソグラフィまたはイオン注入時にウェーハの薄膜層をバリ取りして処理するために使用されます。P 32TT KUAは、モジュール式でコンパクトな設計、小型の外形寸法、堅牢な構造を備えています。高精度・長期間の再現性に優れています。機械には、回転式クロスフィードスピンドルを内蔵したメインダイヤモンド研削ホイールユニットが含まれています。このスピンドルは、低振動で高い表面品質を提供し、プロセスパラメータの構成に高い柔軟性を提供します。スピンドルの動きは、高精度サーボ制御を備えたダイレクトドライブモータによって駆動され、高速プロセスに最適です。POPE P 32TT KUAの研削ホイールユニットは高精度スピンドルシステムに搭載されているため、セットアップ時間が非常に短く、工具交換も簡単です。このシステムには、高速ホイールスイッチング用の回転ツールホルダー、幅広い研磨剤、最大2,000 rpmの調整可能なホイール速度が含まれています。また、ホイールプロファイリング用のプロファイルトラッカーも提供しています。これは、正確なウェハ特性を維持するための貴重なツールです。P 32TT KUAには垂直ラップベースも装備しており、各種基板のラッピングや微細研磨が可能です。ラップベースには、ラッピング面の再調整のための統合蒸化器が含まれています。また、高精度のリニアドライブと統合されているため、振動を最小限に抑え、高い位置決め精度を実現します。さらに、POPE P 32TT KUAにはプラテン供給とテイクアップユニットが装備されており、通常よりも大きい基板の研削、ラッピング、研磨が可能です。P 32TT KUAは優秀な性能の高精度の、産業機械です。堅牢な設計、高精度のサーボコントロール、そして厳しい公差でも最適な処理を保証する高速スピンドルを提供します。さまざまなアップグレードおよび構成オプションにより、あらゆる種類のウェーハの正確な処理と迅速な処理が可能です。