中古 PETER WOLTERS / LAPMASTER microLine AC 2000-P2 #9352425 を販売中
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販売された
ID: 9352425
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Double side polishing machine, 12"
Wheel dimensions:
Outer: 1935 mm
Ring width: 686 mm
Thickness: 80 mm
Wheel distance: 190 mm With 80 mm wheel thickness
Pneumatic:
Maximum load pressure: 3500 daN
Compressed air: 6,5 Bar
Electronic equipment:
Servo drives digitally controller
Upper wheel: 46 kW/40 min⁻¹
Lower wheel: 46 kW/40 min⁻¹
Inner workpiece drive: 7,5 kW/min⁻¹
Outer workpiece drive: 7,5 kW/min⁻¹
Hold the drive aggregates for lower working wheel and workpiece drive
Electromechanical height adjustment for outer and inner pin ring
Splash guard pan
Assembly connections for easy access
Pneumatic load control
Interception device
Weighting device
Drives
Working wheels
Safety device
Corrosion resistant design
Electric switch cabinet (Air cooled)
CNC Controller
Operating panel
Polishing media connection and metering
Slurry distribution system
Polishing media collecting channel
Tool kit
Basical range of CNC Control S7-400 With visualization
Pressure control via proportional valve and pressure sensor
Display of the actual pressure value
13-Pressure ranges
Variable speed of rotation change in each pressure range of each drive
Variable change of rotation direction
Automatic swiveling in / out
5-Conditioning program with recorded inception heights
Alternative list for selective programming functions:
Swiveling device
Starting of the drives
Feeding of the polishing media
Wet mode
0020: Brush program
0030: Cooling water temperature monitoring
0040: Rinsing and spraying device (Chemical polishing)
0050: Spraying device
0060: Levelling device for horizontal adjustment of the upper working wheel
0070: Epicyclic work holder drive system
0080: (2) Polishing wheels
0090: Back up
Options:
0100: Power backup
0110: Polishing compound connection
0120: Cable identification
0130: Mixing block
0140: Taiwan electrics
Electrics: 460 V
UPS: 230 V
0150: Packing
0160: Commissioning
0170: Status light
0180: Loading counter
0190: Second hand operation station
0200: Shower guns for DI- Water
0210: (2) Heating / Cooling aggregate (WRK) 12760 W
0220: Heating / Cooling aggregate Heating possibility up to 55°C
0230: Fittings for cooling water circulation system with refrigeration unit
0240: 6-Step polishing program
0260: Fiberglas cable
0270: Separate drive security
0290: Signal tower with LED
0300: Indication of signal tower
0310: Upgrades
0320: 80-Polishing feed holes
0330: Anti-syphoning package
0340: Measuring device (Flatness)
0350: Distance block set
0360: Steel straight edge, 2000-0 mm
0370: Additional cable length
0380: Engineering costs
0390: PDR System
Power supply: 400 V + 6%-10% (Acc. DIN IEC 38)
Frequency: 50 Hz
Control voltage: 203 V / 24 VDC
2007 vintage.
LAPMASTER AC 2000-P2は、半導体ウェーハ用のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。これは、コンピュータ化されたコントローラ、モジュラーエラーフリースピンドルドライブ、および高品質の研磨材料と産業用グレードの花崗岩ベースに取り付けられたクイックチェンジオーバーの広い範囲を備えた精密機器です。200〜300mmのウエハラッピングと研削に対応し、高い精度と再現性を備えています。AC 2000-P2は、2段階のラッピングと研磨プロセスを備えています。各ステージは2つの部分に分かれており、第1ステージは実装ステーション、ウェーハクランププレート、および堅牢なラッピングホイールで構成されています。第2段階は別のラッピングホイールを使用し、研磨パッドホルダーと研磨剤の粗い-微細な進行を備えています。両方のステージには可変速度調整が含まれており、オペレータは必要に応じて速度を増減することができます。AC 2000-P2はコンピュータ化されたコントローラも備えており、オペレータに実行時間、プロセス設定、自動シャットオフ、マシンステータスインジケータなどの詳細なデータを提供します。コントローラは非常に柔軟であり、手動、半自動、フルオートモードなどの幅広い入力選択オプションを受け入れることができます。このユニットはまた、最高のプロセス精度を確保するために、圧力、スリップ、振動制限規制などの調整可能なパラメータを提供します。機械にまた統合された塵の取り外し用具があります。エアーブレードは、機械に外部にそれを処分しながら、発生した研磨粉塵を掃除します。集じんの網にまた最も厳密な粒子の条件を満たすために調節可能な設定があります。PETER WOLTERS AC 2000-P2には、高精度の操作を提供するモジュラーエラーフリースピンドルドルドライブが装備されています。人間工学およびACモーター技術の原則と結合されるこの洗練された設計は信頼でき、安全な操作を提供します。また、ウェーハクランプ用のエアユニットや過圧縮制御、高精度な振動保護モデルなど、さまざまなオプションモジュールも搭載しています。PETER WOLTERS/LAPMASTER AC 2000-P2、高精度ウェーハの量産に最適なマシンです。その精密なエンジニアリングと柔軟性は、真の「オールインワン」機器を提供し、ラッピング、研磨、空気吹き、および生産プロセスで必要なその他の洗練を行うことができます。システムのコントローラは、オペレータにプロセスを完全に制御し、優れたプロセス品質を実現します。AC 2000-P2は、半導体ウェーハの製造に信頼性の高いユニットを探している生産者にとって理想的な選択肢です。
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