中古 PETER WOLTERS / LAPMASTER microLine AC 2000-P2 #9352424 を販売中
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販売された
ID: 9352424
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Double side polishing machine, 12"
Wheel dimensions:
Outer: 1935 mm
Ring width: 686 mm
Thickness: 80 mm
Wheel distance: 190 mm With 80 mm wheel thickness
Pneumatic:
Maximum load pressure: 3500 daN
Compressed air: 6,5 Bar
Electronic equipment:
Servo drives digitally controller
Upper wheel: 46 kW/40 min⁻¹
Lower wheel: 46 kW/40 min⁻¹
Inner workpiece drive: 7,5 kW/min⁻¹
Outer workpiece drive: 7,5 kW/min⁻¹
Hold the drive aggregates for lower working wheel and workpiece drive
Electromechanical height adjustment for outer and inner pin ring
Splash guard pan
Assembly connections for easy access
Pneumatic load control
Interception device
Weighting device
Drives
Working wheels
Safety device
Corrosion resistant design
Electric switch cabinet (Air cooled)
CNC Controller
Operating panel
Polishing media connection and metering
Slurry distribution system
Polishing media collecting channel
Tool kit
Basical range of CNC control S7-400 with visualization
Pressure control via proportional valve and pressure sensor
Display of the actual pressure value
13-Pressure ranges
Variable speed of rotation change in each pressure range of each drive
Variable change of rotation direction
Automatic swiveling in / out
5-Conditioning program with recorded inception height
Alternative list for selective programming functions:
Swiveling device
Starting of the drives
Feeding of the polishing media
Wet mode
0020: Brush program
0030: Cooling water temperature monitoring
0040: Rinsing and spraying device (Chemical polishing)
0050: Spraying device
0060: Levelling device for horizontal adjustment of the upper working wheel
0070: Epicyclic work holder drive system
0080: (2) Polishing wheels
0090: Back up
Options:
0100: Power backup
0110: Polishing compound connection
0120: Cable identification
0130: Mixing block
0140: Taiwan electrics
Electrics: 460 V
UPS: 230 V
0150: Packing
0160: Commissioning
0170: Status light
0180: Loading counter
0190: Second hand operation station
0200: Shower guns for DI- Water
0210: (2) Heating / Cooling aggregate (WRK) 12760 W
0220: Heating / Cooling aggregate Heating possibility up to 55°C
0230: Fittings for cooling water circulation system with refrigeration unit
0240: 6-Step polishing program
0260: Fiberglas cable
0270: Separate drive security
0290: Signal tower with LED
0300: Indication of signal tower
0310: Upgrades
0320: 80-Polishing feed holes
0330: Anti-syphoning package
0340: Measuring device (Flatness)
0350: Distance block set
0360: Steel straight edge, 2000-0 mm
0370: Additional cable length
0380: Engineering costs
0390: PDR System
Power supply: 400 V + 6%-10% (Acc. DIN IEC 38)
Frequency: 50 Hz
Control voltage: 203 V / 24 VDC
2007 vintage.
PETER WOLTERS/LAPMASTER microLine AC 2000-P2は、マルチサイド、フルオートウェーハ処理用の高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。200mmまでの大小のウエハを高精度かつ均一に加工できます。このシステムは、高度なコンピューター制御ロボットのローディングとオリエンテーション・ユニットを備えています。この機械は精密にそして一貫して粉砕および磨くロールの精密な位置にウェーハを置くように設計されています。高精度の研磨研磨ローラーを回転チャックに搭載し、角度調整を精密に行うことで、非常に微細な研磨・研磨が可能です。このツールは、可能な限り最高の公差にウェーハを研磨するための精密ダイヤモンド研削研磨材を使用しています。平らな面と曲面の両方に優れた表面仕上げと精度を提供します。機械的研削工程とコンピュータ制御アセットを組み合わせることで、再現性の高い結果が得られます。また、高度なウエハマッピング装置を備えており、一貫性のある正確な結果を保証します。ウェハマッピングシステムは、精密レーザーセンサーと3Dレーザースキャナーを使用しています。レーザースキャナーは、ウェーハからデータポイントを収集して、ウェーハの表面の詳細な地形図を作成します。このデータはロボットユニットに供給され、正確な位置決めと研磨のためのウェハを確保します。LAPMASTER microLine AC 2000-P2は、高度な後処理機械も備えています。このツールは、最終的な研削および研磨プロセスのデータポイントを自動的に収集して保存し、再現可能な結果を保証します。後処理アセットは、完成したウェーハからバリ、凹み、その他の欠陥も除去します。PETER WOLTERS microLine AC 2000-P2は、長いスループランのために設計されており、既存のウェーハ処理システムに簡単に統合されています。直径200mmまでのウェーハ処理が可能で、ウェーハ研削、ラッピング、研磨作業において優れた成果を発揮します。
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