中古 PETER WOLTERS / LAPMASTER MicroLine AC 1500-P #293660078 を販売中
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ID: 293660078
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
Polishing machines, 12"
Double size polisher
2007 vintage.
LAPMASTER AC 1500-Pは、超精密な材料研削、ラッピング、研磨用に設計されたハイエンドの微細加工装置です。このシステムは、最大200mmまでのウエハ基板において、自動加工および手動加工アプリケーションに最適な条件を提供します。機械は三相ACモーターによって運転され、工具振動および単位温度のためのプロセスレギュレーションエレクトロニクス、またデジタルコントローラが装備されています。モータは毎分最大300回転の最大回転速度に達することができ、異なるハイエンドのワークで動的かつ正確なプロセスを可能にします。AC 1500-Pのユニークな旋回スピンドルと傾斜スピンドルにより、ミクロンレベルのウェーハの迅速かつ正確な位置決めが可能です。高品質のドライブマシンは、5軸で滑らかで振動のない動きを可能にします。さらに、積み降ろし作業のための「半自動マテリアルハンドリング」や貴重な安全面など、高度な操作機能により、高いプロセスセキュリティを実現しています。正確なギャップ補償資産と幅広いデジタルセンサーにより、微量の材料であっても自動的に調整し補償することができます。プロセスをさらに改善するために、このマシンにはパラメトリゼーション、診断機能、および複数のプロセスホルダーが装備されています。素材固有の形状を持つこれらの素早く交換可能なプロセスホルダーを使用することで、各基板表面への迅速な適応と高いグレードの柔軟性を実現します。高度な制御ソフトウェアは、すべての機械部品を管理し、したがって、最高レベルの精度でシームレスなワークフローを作成します。その結果、AC 1500-Pは、最高の生産精度で非常に低い欠陥率を保証します。優れた精度特性と信頼性の高い使用寿命を持つ高性能モデルです。
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