中古 PETER WOLTERS / LAPMASTER BD 300 #9375038 を販売中

PETER WOLTERS/LAPMASTER BD 300は、粗いASカット研削から、優れた平坦性と表面粗さを持つ微細な表面仕上げにウェーハを変換するために設計された特殊なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、最大8インチの直径のウェーハを処理するように設計されており、個々のウェーハ処理実行間の待ち時間を最小限に抑えながら、再現性と一貫した結果を提供するように特別に設計されています。このユニットは、表面研削メカニズム、球状ラッピングおよび微細研磨、プロセスコントローラ、およびサポートインフラストラクチャで構成されています。表面研削機構は、直径12インチのスピンドル駆動、セラミックコート、真のフラットプラテンです。プラテンはリニアモータドライブに搭載され、送り速度は最大1。2インチ/秒です。これにより、非常に精密で反復可能な表面研削結果を得ることができます。球状のラッピングと微細な研磨成分は、直径24インチのラッピングとフィニッシュクッカーで構成されています。このコンポーネントには6つの研磨ヘッドと5つのラッピングヘッドが付属しており、それぞれに専用の溝と速度があります。これは、ウェーハの表面をドームで研磨するために使用され、歪みを最小限に抑えて一貫した表面粗さを提供します。プロセスコントローラはプロセス全体を制御し、データを記録し、結果を出力するためのプラットフォームを提供します。LAPMASTER BD 300は、電源入力、空気排気、空気供給再循環マシンなど、さまざまなサポートインフラストラクチャを提供しています。また、25リットルのクーラントリザーバーと複数のクーラントノズルを提供しています。このツールには、2つの大きな取り外し可能な折りたたみテーブルと、ほこりや他の汚染物質から保護するシングルチャンバー環境エンクロージャも装備されています。このアセットは、半導体、光学、データストレージ業界のアプリケーションに最適であり、容易で効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨用に設計されています。プロセスコントローラと最先端の技術を統合し、ウェーハ処理専用に設計されているため、より高い精度と再現性が保証されます。自動化された操作性と耐久性により、このモデルは多くのウェーハ研削、ラッピング、研磨ニーズに最適です。