中古 PETER WOLTERS FL 12P #131880 を販売中
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ID: 131880
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1988
Polishers
For silicon wafers, up to 8"
Wheel diameter: 1300 mm
(4) Plates, 480 mm diameter
Capacity: (60) 4" Wafers/hour, 100 mm/hour
Power: 220/380 V, 50 Hz, 80 A
1988 vintage.
PETER WOLTERS FL 12Pは、最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、半自動研削、ラッピング、研磨から、異なる基板(シリコン、ガリウムヒ素または他のIII-V化合物、石英またはガラス)のウェーハの完全自動生産まで、幅広い用途向けに設計されています。PETER WOLTERS FL 12 Pは2つの精密導かれた粉砕および磨く頭部が装備されています;450mmの働く打撃のそれぞれ。これにより、処理の過程でウェーハの全高とカバレッジが可能になります。独特な設計はまた粉砕の頭部との働く表面(ウエファー)の最適接触を保障します。さらに、研削ヘッドにはハイトルク、ドライブモータがあります。正確で反復可能な結果に必要な安定性と精度を確保します。FL 12Pは、エア冷却されたメタルハライド光源を内蔵しており、ウェハ上の研削/研磨プロセスを正確に監視および制御できます。これにより、均一な結果が得られ、過剰処理が防止されます。高度な温度制御ユニットは、最適な生産速度のための正確な温度も保証します。本機は全自動ウェハ加工機です。これにより、正確で再現性のある結果が得られ、生産プロセス全体にわたって高い品質が一貫していることが保証されます。また、ウェハサイズ、形状、基材の設定においても、高度なカスタマイズが可能です。さらに、FL 12 Pアセットは、集塵、自動ローディングおよびアンロード、ならびに空気圧、ポンプ速度、温度を完全に制御することができます。サポートソフトウェアには、使いやすいユーザーインターフェイス、データロギングおよび診断モデルが含まれており、最適なプロセス制御を保証します。PETER WOLTERS FL 12P装置は、効率的で最高品質のウェーハ研削、ラッピング、研磨に最適です。高度な機能により、正確で再現性の高い結果が保証され、高度に自動化されたシステムにより、総所有コストの削減と効率的な生産が可能になります。
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