中古 PETER WOLTERS AL3P #9003984 を販売中

PETER WOLTERS AL3Pは、現代の半導体製造施設で使用するために特別に設計された自動ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。このシステムは、大量生産のための高効率と生産性を提供するだけでなく、最大200mmの直径のウェーハの小さなバッチを提供するために設計されています。この単位のさまざまな部品は既存または新しい生産ラインに容易に統合されるように設計されています。この機械は、ガントリー式のY軸ユニット、C軸ロータリーテーブル、研磨ステーション、ラッピングステーション、研削ステーションで構成されています。Y軸ユニットは、200m/minまでの高速トラバースを提供する再循環ボールネジを備えた堅牢なキャリッジで構成されています。統合されたC軸回転表は+/-0。03度の回転に高精度および再現性を提供します。ウェーハはクランプされ、スピンドルドライブで固定されます。研削ステーションは、プリセット研削パラメータで正確な研削のためにPLCコントローラと統合されたスピンドルドライブを使用しています。ラッピングステーションは完全に自動化され、ラッピング制御時に正確な精度を得るためにPLCコントローラと統合されています。また、PLCコントローラを使用した温度モニタリング用の温度制御ツールも内蔵されており、均一なラッピング結果を保証します。最大4つの研磨ヘッドからなる研磨ステーションは、+/-1umの平均位置精度で均一な研磨動作を提供するために、高性能ブラシレスモーターによって駆動されます。この堅牢で高効率なアセットは、オプションのビジョンモデルと統合され、生産の柔軟性を実現します。この機器には、ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェースを備えたPCワークステーションが装備されているため、生産データの表示、生産手順の監視、Excelシートへのデータのエクスポートが簡単に行えます。全体として、AL3Pシステムは非常に効率的で、信頼性が高く、ユーザーフレンドリーであり、製造施設の生産性を最大限に高めるように設計されています。