中古 PETER WOLTERS AL2 #131879 を販売中
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ID: 131879
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1988
Grinder, 8"
For silicon wafers
Wheel diameter: 1010 mm
Career diameter: 310 mm
(7) Careers
Power supply: 380/220 V, 50 Hz
1988 vintage.
PETER WOLTERS AL2は、直径300mmまでの半導体ウェーハを加工するために特別に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ラッピングと研磨プロセスのユニークな組み合わせを使用して、指定された厚さと表面粗さにウェーハを正確かつ迅速に仕上げます。このシステムは、完全に自動化された1台のモジュラー機械で、必要なすべてのラッピングおよび研磨作業を実行できます。PETER WOLTERS AL 2は自己完結型で、すべてのコンポーネントが1台のマシンに収納されています。ウェーハの積み降ろしを容易にし、最大限の効率を実現するように設計されています。このユニットの自動ラッピングプロセスは、ウェーハ上の制御されたパスで移動する2つの独立制御サーボ駆動ラッピングボールを使用し、エッチング、酸化およびその他の欠陥による凹凸を研削します。このプロセスは、その後の研磨作業で正確な結果を得るために不可欠です。研磨プロセスも自動的に行われます。化学的に処理されたダイヤモンド粒子と水を組み合わせて、緩やかな表面摩耗を作り出し、ラッピングプロセスで作成された表面の不規則性を除去します。これにより、ウェーハ本来のアーキテクチャの完全性を維持しつつ、精密で均一な表面仕上げを実現します。この機械はまた、表面粗さ値の正確な選択と制御を可能にします。このツールには、スムーズな操作を保証するためのさまざまな安全機能があります。これらには、作動中にオペレータが誤って機械に侵入するのを防ぐ安全ガードと、プロセスによって作成された粒子の内部を明確に保つためのエアナイフが含まれます。AL2は信頼でき、効率的な機械であり、ダウンタイムを最小限に抑えて優れた結果を達成することができます。最小限のメンテナンスが必要で、信頼性と再現性の高い結果が得られます。ウェーハ加工業界における多種多様な研削、ラッピング、研磨作業に対応する理想的な機械です。
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