中古 PASSION 9435-301 #9183402 を販売中
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PASSION 9435-301は、高品質のシングルおよびダブルサイドウェーハを準備および仕上げするために設計された強力な自動ウェーハ研削、ラッピングおよび研磨装置です。堅牢で堅牢なフレームで構築され、高い精度と再現性を実現しています。ウエハ上面から材料を除去し、均一な鏡面仕上げを実現します。200mmから12インチの範囲のウェーハサイズに対応でき、標準的なウェーハと溶融シリカおよび半導体基板の両方で動作するように設計されています。研削・研磨ユニットは中央のコントロールパネルを介して操作され、オペレータはさまざまなウエハ加工作業のパラメータを調整することができます。研削・研磨用スピンドル2本、ウェーハ供給用フィーダーを搭載しています。このフィーダは、大型および小型の両方のウェーハを効率的に処理するために、毎分0〜1500mmの速度範囲を調整できます。このツールには、研削および研磨面を潤滑して涼しく保つための連続循環水アセットも装備されています。このモデルの高度なコンピュータ化された装置は、オペレータが応答処理のためにシステムをプログラムできるだけでなく、ウェーハの状態(温度、圧力、速度、特殊ノートなど)に関する貴重な情報をリアルタイムで提供します。また、オプションのソフトウェアパッケージを使用して、記録されたウェーハを遠くから見ることもできます。このアクチュエータは、ウェーハの両面処理のために2つのツールを同時に保持します。研削工具と研磨工具は、滑らかな仕上げのための高度な材料で製造されています。このユニットには、ウエハー面とエッジに研磨パッドを擦り付けることができるいくつかの仕上げ治具も含まれています。さらに、このマシンにはシングルポイント深さ制御バルブが搭載されており、各ウェハのラッピング圧力を調整して正確な結果を得ることができます。9435-301はまたオペレータ傷害の危険を減らすために緊急停止ボタンおよび連結カバーのような安全機能を含んでいます。その他にも、粉砕・研磨時に発生する罰金を低減する集塵機や、ウェハプロセスによる環境障害を最小限に抑える環境制御ツールなどがあります。このアセットには、オペレータにマシンのステータス、ウェーハ処理の進捗状況、その他のライブフィードバックを知らせるためのさまざまな信号とアラームも含まれています。PASSION 9435-301は、精密かつ再現性の高い結果を得るために設計された高度な自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルです。セントラルコントロールパネル、高度なコンピュータ化システム、2つのスピンドル、フィーダー、連続循環水装置、安全機能、集塵装置、環境制御システムなどの洗練された機能を備えています。これらのすべてのコンポーネントは、高品質のウェーハを準備し、仕上げするための安全で効率的なユニットを提供するために協力しています。
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