中古 OPTOTECH SMP 500 #9387232 を販売中

OPTOTECH SMP 500は、最新の半導体製造の生産ニーズに特化した世界クラスのウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。半導体部品の欠陥のない精密表面を、様々な基板や材料で高い精度と再現性で製造できる自動化システムです。SMP 500は、高度な研削・研磨プロセス制御および測定技術を活用して、高精度の表面のみを製造しています。これは、製品の要件を満たすために選択することができますプロセスパラメータの広い範囲で、機械的および化学的処理ステップの両方を備えています。OPTOTECH SMP 500は、毎分最大40 mmの送り速度で、最大500ミクロンの厚さで材料を研削および研磨することができます。また、直径150mmまでの負荷容積を持ち、同じ動作で最大6000個のウエハを処理することができます。SMP 500には、高速デジタルサーボドライブを備えた先進的なモーションコントロールユニット、新しい視覚・計測ツールを備えた先進的なカメラマシン、および柔軟な光学資産が装備されています。これらのコンポーネントと高度なデジタル信号処理アーキテクチャを組み合わせることで、モデルはデータを分析および処理し、表面プロファイルや仕上げの微妙な変化をすばやく認識して修正することができます。OPTOTECH SMP 500はまた、プロセスのさまざまな段階で材料温度を正確に管理する温度制御装置を備えており、ウェーハ表面の熱分解と損傷を防止します。最後に、システムは、低振動、低ノイズ、低消費電力を提供するエネルギー効率の高いモータによって駆動されます。要するに、SMP 500は、最新の半導体製造の生産ニーズに対応するように設計された高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットです。高度なプロセス制御および測定技術と温度制御機械により、さまざまな基板や材料に欠陥のない高精度な表面を生成することができます。また、低振動、低騒音、低消費電力のエネルギー効率の高いモータを備えています。