中古 OPTOTECH ASP 80 #9238120 を販売中

OPTOTECH ASP 80ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体ウェーハの高精度、平らな表面と平面化の生産のために設計された多機能機械です。半導体、バイオメディカル、電子、フォトニック産業での手動および完全自動化された生産に適しています。ASP 80ウェーハ研削システムは、研削用と研磨用の2つのスピンドルを含むメインフレームで構成されています。研削スピンドルは、精度と再現性を確保するために、高速モータ、速度制御および機械的ガイドレールが装備されています。研削スピンドルには、速度、送り速度、ドウェル時間のデジタル読み出し、および動作中の冷却および圧力補償用の統合空気ユニットがあります。OPTOTECH ASP 80ウェーハラッピングマシンは、可変速度モータ、圧力調整、および研削を制御するための速度読み出しを備えた完全密閉水平研削ホイールを備えています。ラッピングホイールは中央フレームに取り付けられ、プロセスパラメータを変更するために調整可能です。圧縮空気ツールを使用して、運転中に粉砕ホイールに冷却および圧力補償を供給します。ASP 80ウェーハ研磨アセットは、研磨ホイールと紫外線硬化ビームを備えた2段階のプロセスです。磨く車輪はテーブル取付けられたモーターに取付けられ、速度、ドウェル時間、供給率、刃の圧力およびサンプル力のための調節可能なプロセスパラメータがあります。紫外線硬化ビームは、個別の強度制御と、ウェーハを横切る均一なコーティングのための旋回を可能にするメカニズムを含んでいます。OPTOTECH ASP 80ウェーハモデルの研削、ラッピング、研磨プロセスを組み合わせることで、希望する結果に合わせてカスタマイズできる一貫した速度、精度、再現性の設定により、ウェーハ上で高精度で平らな表面仕上げを実現します。機械はまた200mmまでいろいろなサンプルサイズを収容するのに十分な多目的です。この装置は堅牢な構造を備えており、ユーザーメンテナンスとケアの指示が最適な操作のために含まれています。