中古 OPTOTECH ASP 80 #293630513 を販売中
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OPTOTECH ASP 80は、直径800mmまでのウェーハを加工するために設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。半導体、セラミック、サファイア、金属など幅広い材料の加工に使用できる全自動システムです。このユニットには、ウェーハの高速かつ正確な処理を可能にする機器、制御、およびソフトウェアの統合された機械が含まれています。ASP 80の統合ツールは、ユーザーに幅広い処理オプションを提供します。グラインダー、リッパー、ポリッシャーは、ウェーハを迅速かつ正確に処理するように設計されています。研削工程は、精密スピンドルと超精密光検出アセットで構成され、基板の正確な位置決めに使用されます。研削ヘッドはACサーボモータによって駆動され、サブミクロンの精度を提供することができます。研削、ラッピング、研磨フェーズはすべて、ダイヤモンド研磨技術を使用して、非常に高品質で一貫した仕上げを提供します。ラッピングプロセスは、ラップホイールとラップコンパウンドを使用して実行されます。ラップホイールには一連の関節アームと同期モーターが装備されており、ラップホイールの速度を正確に制御できます。ラップ化合物は、一貫した仕上がりを提供するためにラップホイールに追加されたスラリーです。磨く段階はCMPの磨く頭部およびスラリー分配モデルから成っています。研磨ヘッドは、研磨速度を正確に制御することができ、正確で一貫した結果を得ることができます。プロセスを終えるために、顕微鏡は点検のために使用されます。ダイヤモンド埋め込みフォームパッドを使用して均一な仕上がりを提供します。OPTOTECH ASP 80は、正確で反復可能なウェーハ研削、ラッピング、研磨を提供できる強力で使いやすい装置です。ASP 80の統合システムにより、ユーザーは直径800mmまでのウェーハを迅速かつ正確に処理できます。このユニットは3年間の保証に裏打ちされており、高精度で信頼性の高いウェーハ処理に最適です。
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