中古 OPTOTECH ASP 80 DMT #293651482 を販売中

OPTOTECH ASP 80 DMTは、高性能、高純度の半導体および光学デバイスの精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨用に設計された、完全に自動化されたプログラム可能な装置です。このシステムは、廃棄物を最小限に抑えて、適切なサイズ、形状、表面仕上げの基板を準備するために使用されます。このユニットは、精密研削とラッピングユニット、研磨ユニット、および統合制御機を組み合わせて、研削と研磨プロセスの完全な自動化を提供します。工程の研削段階は、ダイヤモンド研削砥石を使用して基板の直径を必要なサイズと形状に低減する高精度ロボットから始まります。ロボットは均一な研削パターンと最小の表面粗さを確保するように構成されています。これに続いてラッピングユニットが続きます。ここでは、磁気駆動の精密テーブルが基板を回転させ、同時にダイヤモンドサスペンションを粉砕および研磨プロセスに供給します。これにより、均質で超平坦な基板表面が保証されます。研磨工程には高精度な研磨ユニットが必要です。研磨ブラシと発振機能を組み合わせることで、発熱や表面ダメージを低減しながら研磨効果を発揮します。このユニットはまた、ユーザーが研磨パラメータをプログラムし、最適な表面プロファイルを得ることができるように設計されています。このツールには、コンピュータインターフェイスとデジタルパネルを備えた統合コントローラがさらに装備されています。コントローラは、研削、ラッピング、研磨プロセスをプログラムできるようにします。一方、コンピュータインターフェースは、ユーザーがレシピを作成および変更することを可能にします。デジタルパネルを使用すると、使用中の現在のレシピを確認し、それに応じてパラメータを調整することができます。全体として、ASP 80 DMTはウェーハの精密な研削、ラッピング、研磨を提供する汎用性の高い資産です。半導体、光学、MEMSデバイスなど様々な基板の研磨・研磨に適しています。また、中規模から大規模な生産環境での使用に最適化されており、ユーザーの最大限の柔軟性と研削および研磨プロセスの制御を提供します。