中古 OPTOTECH ASP 80 CNC-W-F-A #293597594 を販売中
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OPTOTECH ASP 80 CNC-W-F-Aは、完全に自動化された、CNC計算された、堅牢で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング&研磨装置で、精度と再現性を備えたウェーハを自動的に研削、ラップ、研磨するように設計されています。このシステムは、コンピュータ制御駆動ユニットを備えたCNCコントローラと、再生位置フィードバックマシンによって駆動される高度なリニアモータ技術を使用しています。これにより、制御されたフォーカシングと超短サイクル時間が保証されます。このツールは、一度に最大3つのウェーハを処理できます。ASP 80 CNC-W-F-Aは、現場測定アセットを使用して、研削、ラッピング、研磨プロセス中に各ウェーハを正確かつ正確に自動的に監視します。直感的でユーザーフレンドリーなソフトウェアを備えたタッチスクリーンパネルを使用して、操作、機械設定、測定機能をプログラムします。このモデルには、研削およびラッピングツールの正確な位置を円周に沿って追跡し、プロセスウィンドウの全幅を維持するロープロファイルエンコーダが含まれています。OPTOTECH ASP 80 CNC-W-F-Aは、300mmウェーハに対応できる専用ローディングステーションと、300mmスクエアウェーハなどの非標準ウェーハも備えています。フレキシアメカニズムを使用すると、ウェーハのプリロード力を調整して、ラッピングプロセス中のダメージを防ぎ、雑音を軽減できます。この装置は、最大10,000rpmまでの調整可能なスピンドル速度と、研磨用のダイヤモンドコートベルトシステムを備えています。ASP 80 CNC-W-F-Aは、最高レベルの2Dおよび3Dトポグラフィ精度を保証する独自のビジョンベースのin-situ計測ユニットを備えています。このマシンは、任意の不規則性を検出し、自動的に修正することができ、ウェーハは迅速かつ効率的に正確な仕様を達成することができます。ビジョンベースの計測ツールは、外部データを受信する機能も備えており、プロセスのリモート監視と最適化を可能にします。このアセットは、最も効果的なウェーハ仕上げに必要な正確な位置と向きに配置された各ダイヤモンドタイプと異なるダイヤモンドの組み合わせを処理することができます。また、研削、ラッピング、研磨プロセス中のウェーハを保護するための安全機能も内蔵しています。OPTOTECH ASP 80 CNC-W-F-Aは、高品質の部品を高効率で作成するように設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルです。3つのウェーハの複数バッチを迅速かつ正確に処理することができます。この装置は、調整可能なスピンドル速度と専用のローディングステーション、および正確な2Dおよび3D地形測定のための視覚ベースのin-situ計測システムを備えています。このCNC計算された単位は反復可能、信頼でき、正確な結果を提供します。
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