中古 OPTOTECH ASM 60 Twin Cut #293591890 を販売中

ID: 293591890
Polisher.
OPTOTECH ASM 60ツインカットは、半導体産業の精密要件を満たすように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、完全な摩耗切断の柔軟性とラッピングプロセスの速度を組み合わせたツインカットプロセスを利用しています。研削工程とラッピング工程を1つの工程段階に組み合わせることで、優れた表面仕上げと高い材料除去率を実現します。このユニットは、研削工具の摩耗や破損、粒子発生を最小限に抑えることなく、高い材料除去率を達成することができます。このマシンは、最大+/-180の10kgとスイング角度の重量容量で、6〜150 mmの範囲の任意のウエハサイズを処理することができます。これは、個別に調整可能なプラットフォーム配置、自動化されたツールの切り替え、高感度の翻訳軸制御機械を備えています。機械には、冷却水供給、ほこり排気口、サンプル収集コンテナ、遠隔診断制御ポートも装備されています。ツインカット研削プロセスは、高生産性と汎用性の高いプロセスであり、正確な表面仕上げと高い材料除去率を可能にします。これは、2つの研削ディスクが交互に2方向にウェーハを研削する2段階の研削操作を利用しています。この方法により、高い生産性、表面仕上げの向上、および研削力の低下のための加工時間が短縮され、より均一な研削が可能になります。ASM 60ツインカットは、高い弾性を持つSiC研磨剤を使用し、ウェーハ表面の均一で高精度な研削を保証します。このプロセスには、アクティブクリーニングと冷却が装備されており、その後の研削によって生成される破片から以前に処理された作業を保護します。研削加工は、洗練されたエアフロー工具で行われ、ウェーハ表面の高精度、プロセス安全な環境を確保します。このアセットには、研削プロセスと統合された高度な自動ローディングおよびアンローディングモデルも搭載されています。これは、効率的な処理装置として機能し、ロードとアンロード時間を大幅に削減することが証明されています。また、ASM 60は他の自動化装置と統合され、人間の関与をさらに減らすことができ、結果としてサイクル時間が短縮され、結果の品質が向上します。OPTOTECH ASM 60ツインカットは、高精度の研削アプリケーションを実現するための効率的で費用対効果の高い方法を提供します。半導体業界の厳しいニーズを満たすように設計されており、高い生産環境で優れたスループットとコスト削減を提供します。
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