中古 OPTO SYSTEM SGM-6301 #9386621 を販売中

OPTO Equipment SGM-6301は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスのための高度に自動化された機械です。オペレータの介入を最小限に抑えて高品質な結果を出すことができるため、半導体業界の要求に優れたソリューションを提供します。SGM-6301は、ロータリー研削と研磨ホイール、ロータリーウェーハホルダー、2つの独立した研削スピンドル、および高精度ドライブシステムで構成されたベースマシンで構成されています。回転式研削と研磨ホイールは、最大RPM 4000の電動モータによって駆動されます。ロータリーウェーハホルダーは、ウェーハを所定の位置に保持し、所望の角度で研磨および研磨を可能にするように設計されています。2つの独立した研削スピンドルは、上面と下面の両方から同時にウェーハを研削および研磨することができます。さらに、高精度ドライブユニットは、自動、手動、または半自動の制御モードに設定することができます。ウェハは自動化されたコンベヤー機械によって機械に荷を積まれます。ロータリー研削砥石を使用し、均一な研削・研磨が可能です。磨く車輪は磨かれた表面の正確さそして均等性を保障するために調節可能です。研削完了後、ウェハはアンロードされ、ラッピング操作に移されます。ラッピング工程では、ウェーハをしっかりと固定し、ウェーハとラッピング媒体を分離したままラッピング媒体を循環させます。ラッピング圧力は、ウェーハ表面の均一性を確保するために調整可能です。最後に、ウエハに研磨ホイールと研磨媒体を使用して研磨を施します。磨く車輪はまた完成品の均等性そして正確さを保障するために調節可能です。プロセス完了後、完成したウェハはOPTO Tool SGM-6301からアンロードされ、さらに処理するためにコンベアに戻ります。結論として、SGM-6301は汎用性の高い自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨アセットです。オペレータの介入を最小限に抑え、スムーズで効率的な生産プロセスを実現します。