中古 OKAMOTO VG 502 #9223396 を販売中
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OKAMOTO VG 502ウェーハ研削・ラッピング・研磨装置は、ウェーハや関連基板の精密・半精度研削・ラッピング・研磨のオールインワンソリューションです。このハイテクなシステムは、半導体製造事業の厳しい要求に応えるように設計されています。OKAMOTO VG-502ユニットは、精密研削ヘッド、一体型研磨ヘッド、真空機、2ステーションのロータリーテーブルで構成され、すべてが5軸電動CNCポジショニングステージで駆動されます。このステージは、研削および研磨作業のための優れた精度を提供し、複雑なパターンやプロファイルを実行するようにプログラムすることができます。研磨ヘッドは、研削モードから研磨モードに素早く切り替える機能など、いくつかの便利さが装備されています。さらに、ファインピッチスレッドボールスクリューは、あるウェーハから次のウェーハへのモーションパスの正確な再現性を提供します。VG 502ツールは、さまざまな形状とサイズのウエハを研磨し、研磨することができます。CNC位置決めステージは、2〜250ミリメートルの外径を持つウェーハに対応できます。さらに、アセットは、2〜250ミリメートルの範囲で、内部シェーピングと半径で基板を研削およびラップするようにプログラムすることができます。VG-502には、障害物を感知した際にモデルを停止させる圧力スイッチ、研削ヘッド周辺のライトカーテンセーフティスイッチ、破断を検知してシステムをシャットオフするウェハブレイク検出装置など、最適な操作性を実現する安全機能があります。さらに、真空ユニットには、真空漏れやその他の故障状況をオペレータに警告する可聴アラームマシンが装備されています。OKAMOTO VG 502は、高速ロジスティクス、高いスループット、高い使用率を提供する高効率のマシンです。1分間に最大20メートルの速度で同時に5つのウェーハを研削することができます。さらに、さまざまな材料や化合物との互換性を提供し、統合されたウェーハブレイク検出ツールは、0。1mmのサイズのブレイクを認識することができます。高度な設計により、簡単なセットアップと迅速な修理が可能です。OKAMOTO VG-502ウェーハ研削、ラッピング&研磨アセットは、短時間で高品質な結果を出すことができ、その統合された安全機能により、精密製造業務に最適なソリューションです。
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