中古 OKAMOTO SVG 502 #9158759 を販売中

OKAMOTO SVG 502は、OKAMOTO株式会社が製造する高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。このシステムは、大口径の硬質および軟質材料の超精密加工を提供するように設計されています。SVG 502は、2インチと4インチのウェーハを処理することができます。高い精度と再現性を実現する高品質スピンドルにより、ウェーハ表面の精度を確保しています。OKAMOTO SVG 502のメカニカルデザインは、強烈な研磨と研磨活動に適しています。それは長期信頼性のための鋼鉄オーバーレイ部品が付いている堅牢なcastironの基盤を特色にします。スピンドルは30kWのダイレクトドライブモーターで駆動され、トルクベクター加工機能が内蔵されています。100mmオフセット時の最大研削速度は13,200rpm,加速度は2,200rpm/sです。このマシンは、グラフィカルユーザーインターフェイスと組み込みのレシピ編集機能を備えた使いやすいタッチスクリーンインターフェイスで動作します。SVG 502は、ウエハ加工にOKAMOTO独自のDAF技術（ダイヤモンド研磨膜）を使用しています。DAFは、硬質材料の超精密加工を実現するために使用される研磨膜システムです。DAFアセンブリには、バリ取りダイヤモンド研磨シートと紙シートが含まれています。使用されるシートの数は、加工する材料とウエハの直径によって異なります。切断後、シートは基板から取り外され、所望の結果が得られると新しいセットに置き換えられます。DAFシートは、決められた速度で回転するウェーハ研削ホイールに取り付けられています。RPMと負荷は、所望の精度を達成するために細心の注意を払って監視されます。ラッピングと研磨ステージは、滑らかな表面仕上げを作成するために使用されます。研削、ラッピング、研磨段階は順番に行われます。ウエハ表面に小さなスラリーを発生させ、最終工程で研磨段階で除去します。全体的なプロセスは一連の異なるステップで構成されており、すべてが高精度で再現性に優れています。OKAMOTO SVG 502の高精度、高繰り返し性により、大径ウェハの製造に最適です。最終結果は、優れたシール整合性を保証するウェーハ上の滑らかで均一な表面です。