中古 OKAMOTO SVG 502 #9069021 を販売中
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OKAMOTO SVG 502は、磁気抵抗センサ、MEMS、部品、半導体ウェーハなど、幅広い基板の研削、ラッピング、研磨に特化した最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、複雑な多層電子デバイスの製造に最適です。OKAMOTOは、優れた表面仕上げを実現し、ウェーハのストレスを最小限に抑えるスピンドルレスウェーハ研削盤を開発しました。このツールは、非貴金、ガラス、サファイア、セラミックス、複合材などのさまざまな材料を研削することができます。最大20,000rpmの研削速度を実現し、最小研削ステップサイズは1マイクロメートル未満です。研削砥石はダイヤモンド含浸グラファイト製で、高精度で潤滑の必要性を排除するように設計されています。SVG 502はまた、同じダイヤモンド含浸グラファイト構造で、ラップおよび研磨用途のための精密ラッププレートを統合しています。ラッププレートは、ウェーハ上のストレスを最小限に抑えて、正確な表面仕上げを提供するように設計されています。最大1200rpmの研磨が可能で、最大3000rpmのラッププレート回転速度を実現できます。このアセットには統合ビジョンモデルも組み込まれており、研削および研磨プロセスの目視検査が可能で、さらなる品質管理が可能です。このビジョン装置は、プロセス内の品質管理だけでなく、後処理の欠陥検出にも使用できます。全体的に、OKAMOTO SVG 502は、多種多様な基板の研削、ラッピング、研磨を行うことができる汎用性の高いシステムです。その速度と精度の組み合わせは、ユーザーにアプリケーションに最適なツールを提供します。さらに、その統合ビジョンユニットは、完成品の品質が維持されていることを保証します。
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