中古 OKAMOTO SPP-600S #9165233 を販売中

OKAMOTO SPP-600S
ID: 9165233
CMP System.
OKAMOTO SPP-600Sは、高度な半導体製造プロセスに必要な高精度・高精度を実現するウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。この研削、ラッピング、研磨システムは、さまざまな材料の完全なプロセス最適化を可能にするカスタマイズ可能な機能の広い範囲を誇っています。このユニットは、スピンドルモータとサーボモータ制御システムを収容するマシンベースで構成されています。ワークテーブルは、研削、ラップ、研磨するワークを配置するために使用されます。本機の主軸は、最高速度200rpmの三相モータで駆動します。主軸は高いトルク出力、低いモーター振動、および低い熱安定性によって特徴付けられます。このツールは良好な再現性と精度を提供し、一貫性のある研削、ラッピング、研磨結果を保証します。幅広い研削ヘッドを備えており、最大1。85インチの厚さの材料を処理できます。これらの研削ヘッドはスピンドルに取り付けられ、ワークの全長に沿って精密研削を提供します。粉砕の頭部は適用条件に従ってカスタマイズすることができます。ラッピングプロセスは、スピンドルに取り付けられた特別に設計されたラッピングプレートによって実行されます。ラッピングプレートは、ワークに精密な粉砕圧力を提供するように調整されています。ラッピングプロセスは、表面の欠陥やバリを除去します。研磨工程もラッピングプレートで行います。プレートは所望の研削速度と研磨圧力に合わせて調整され、ワークに一貫した均一な表面仕上げを実現します。さらに、この資産には、製品の品質を保証するために、複数の自動検査および測定機器が装備されています。これらの機器は、ワークの表面の完全性に関する正確な情報を提供します。また、研削、ラッピング、研磨プロセス中にプロセスパラメータを監視および制御する効率的な方法も提供します。OKAMOTO SPP 600Sは、最初から最後までのすべての処理ステップを実行するように設計されており、非常に効率的なモデルです。その高度な設計と多数のカスタマイズ可能な機能は、複雑なマイクロエレクトロニクス部品を製造するための信頼性と正確な結果を提供します。
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