中古 OKAMOTO PRG-6 #200286 を販売中
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ID: 200286
ヴィンテージ: 1987
Rotary surface grinding machine
Diameter of magnetic chuck: 24"
Maximum swing inside coolant guard: 28"
Standard wheel size: 14" x 1.5" x 5" hole
Maximum height to center of wheel: 15"
Wheel elevation by hand or power
Maximum angle-concave or convex: 3 degrees
Table speeds: 30 - 100 RPM
Table travel, maximum: 16"
Table travel rate: 0 - 15 FPM
Variable magnetic chuck control
Hydraulic wheel guard dresser
10 HP spindle drive motor
3 HP hydraulic system motor
Table trip dogs
Coolant tank & pump
Splash guarding
1987 vintage.
OKAMOTO PRG-6は、完全自動化された高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このウェーハ加工システムは、片側または両側のウェーハの前面と裏面を正確に処理するように設計されています。高精度・高精度・均一な平面性を実現します。PRG-6は、コンパクトな研削、ラッピング、研磨ヘッドを装備しています。このヘッドは、XY軸同時研削、ラッピング、研磨機構を備えています。これにより、高い精度で正確な平坦性が保証されます。ヘッドは正確な平坦性を維持し、正確な角度でラッピングしながら高速で研削することができます。精密な研磨も可能です。OKAMOTO PRG-6にはウエハプリトリートメントユニットも付属しています。このユニットは、研削、ラッピング、研磨ユニットによって処理される前に、ウェハがきれいであることを保証します。これは、スピン乾燥ユニットとウェットとドライクリーニングプロセスを備えています。これにより、ウェーハは汚染物質から解放され、処理の準備ができています。PRG-6はコンピュータ制御機も備えています。このツールは、すべてのプロセスを正確に制御します。ウェーハの前処理、研削、ラッピング、研磨が含まれます。また、プロセスの各ステップの正確な設定も可能です。OKAMOTO PRG-6はサブミクロンレベルの精度まで加工可能です。このアセットは、平面反射表面仕上げの片面および両面ウェハを製造することができます。PRG-6加工時の高効率・低発熱も特徴です。OKAMOTO PRG-6は、高性能、全自動ウェーハ研削、ラッピング&研磨モデルです。XY軸同時研削・ラッピング・研磨を施したコンパクト研削・ラッピング・研磨ヘッドを搭載しています。これにより、高い精度で正確な平坦性が保証されます。PRG-6には、ウエハ前処理ユニットとコンピューター制御装置があり、プロセスの各ステップを正確に制御できます。このシステムは、平面反射表面仕上げをサブミクロンレベルの精度で、片面および両面ウェハを製造することができます。
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